東莞市鼎偉靶材有限公司是專業(yè)生產(chǎn)純屬材料，蒸鍍膜材料以及濺射靶材的技術(shù)企業(yè)應(yīng)用的科技型民營股份制工貿(mào)有限公司。公司以青島大學(xué)和青島科技大學(xué)蒸材料專業(yè)為技術(shù)依托，擁有多名中級專業(yè)技術(shù)人員和專業(yè)化應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室，有很強(qiáng)的蒸材料能力。公司先后研的蒸材料、濺射靶材系列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用到國內(nèi)外眾多知名子、太陽能企業(yè)當(dāng)中，以較的價比，成功替代了國外進(jìn)口產(chǎn)品，頗受用戶好評。

中山銀旋轉(zhuǎn)靶材

公司主要經(jīng)營產(chǎn)品： 

一、真空鍍膜材料 

1．純真空濺射靶材（99.9％——99.999％）

純屬靶材：鋯靶Zr、鉻靶Cr、鈦靶Ti、鋁靶Al、錫靶Sn、釩靶V、銻靶Sb、銦靶、硼靶B、鎢靶W、錳靶Mn、鉍靶Bi、銅靶Cu、石墨靶C、硅靶 Si、鉭靶 Ta、鋅靶Zn、鎂靶Mg、鈮靶Nb、鉬靶Mo、鈷靶Co、鐵靶Fe、鍺靶Ge、鉿靶Hf、鉛靶Pb、鎳靶Ni、銀靶Ag、硒靶Se、鈹靶Be、碲靶Te、不銹鋼靶材S.S等……

多元合靶材： 鈦鋁靶Ti-Al、鈦鋯靶Ti-Zr、鈦硅靶Ti-Si、鈦鎳靶Ti-Ni、鎳鉻靶Ni-Gr、鎳鋁靶Ni-Al、鎳釩靶Ni-V、鎳鐵靶Ni-Fe、鐵鈷靶Fe-Co、鋁硅靶Al-Si、鈦硅靶Ti-Si、鉻硅靶Cr-Si、鋅鋁靶Zn-Al、鈦鋅靶材Ti-Zn、鋁硅銅靶Al-Si-Cu等……

陶瓷濺射靶材：ITO靶、單晶硅靶、多晶硅靶、一氧化硅靶SiO、二氧化硅靶SiO2、二氧化鈦靶TiO2、氧化鋯靶ZrO2、二硼化鈦靶TiB2、氧化鎂靶MgO、碳化硼靶BC、氮化硼靶BN、碳化硅靶SiC、三氧化二釔靶Y2O3、五氧化二釩靶V2O5、氧化鋅靶ZnO、硫化鋅靶ZnS、硫化鉬靶MoS、硫化鎢靶WS、氧化鋅鋁靶ZAO、氧化鋁靶Al2O3、鈦酸鍶靶SrTiO3、五氧化二鉭靶Ta2O5、五氧化二鈮靶Nb2O5、氧化鋅鎵靶ZGO、氧化鋅硼靶ZBO、砷化鎵靶GaAs，磷化鎵靶GaP，硒化鋅靶、錳酸鋰靶、鎳鈷酸鋰靶、鉭酸鋰靶，鈮酸鋰靶、等… 

稀土屬靶：鑭靶、鈰靶、鐠靶、釹靶、釤靶、銪靶、釓靶、鋱靶、鏑靶、鈥靶、鉺靶、銩靶、鐿靶、镥靶、釔靶等… 

稀土氧化物靶：氧化鑭靶、氧化鈰靶、氧化鐠靶、氧化釤靶、氧化銪靶、氧化釹靶、氧化釓靶、氧化鋱靶、氧化鏑靶、氧化鈥靶、氧化鉺靶、氧化銩靶、氧化鐿靶、氧化镥靶 

屬膜阻器用Ni-Cr-Si/ Ni-Cr-Mn-Cu濺射靶材：

屬膜阻器用靶材括阻系列（ZYG）、中阻系列（ZYZ）和低阻系列（ZYC）、超低阻系列（ZYCD）。

2．純光學(xué)鍍膜材料（99.99％——99.999％）

氧化物：一氧化硅、二氧化硅、一氧化鈦、二氧化鈦、三氧化二鈦、五氧化三鈦、二氧化鋯、二氧化鉿、二氧化鈰、二鈦酸鐠、三氧化鎢、五氧化二鉭、五氧化二鈮、三氧化二鈧、三氧化二鋁、三氧化二銦、氧化鐿、氧化鋅、氧化鎂、氧化釓、氧化釤、氧化釹、氧化鈣、氧化鐠、氧化鉍、氧化鉻、氧化鎳、氧化銅、氧化鐵、氧化釩等… 

氟化物：氟化鎂、氟化鈣、氟化釹、氟化鑭、氟化鐿、氟化釔、氟化鉺、氟化釤、氟化鏑、氟化鈰、氟化鋇、氟化鍶、氟化鉀、氟化鈉等… 

硫化物：硫化鋅、硫化鉬、硫化鈣、硫化銻、硫化鐵、硫化鈉等…

名稱

尺寸

純度

銀絲（Ag）

Φ0.2—1.0mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999% 99.9999+%

Φ1.0—3.0mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999% 99.9999+%

Φ3.0—6.0mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.9995+% 99.9999% 99.9999+%

銀片（Ag）

50*50*(0.2-1.5)mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

100*100*(0.2-1.5)mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

200*250*(0.2-1.5)mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

銀棒（Ag）

Φ（10-152.4）*1000mmT18937326747(不是聯(lián)系方式)

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ25.4*1000mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ50.8*500mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ76.2*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ101.6*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ127*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ152.4*200mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

銀粒（Ag）

           1-10mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ2*10mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ3*3mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ3*10mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ6*6mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

Φ6*12mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

銀塊（Ag）

10-100mm

99.9% 99.99% 99.999% 99.999+% 99.9999% 99.9999+%

銀粉（Ag）

0.5-75um

99.5% 99.9% 99.95% 99.99%

標(biāo)準(zhǔn)裝為：100g 250g 500g 1000g 10kg 25kg 50kg

半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用靶材是靶材市場的主要組 成之一。在1991年的靶材市場銷售額中，有約’"60%為半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用靶材，35%用于記錄介質(zhì)領(lǐng) 域，5%為顯示領(lǐng)域用靶材及其他。近年來，半導(dǎo)體領(lǐng)域應(yīng)用靶材以近10%的年長率長［ 在硅片制成各種晶體管、二極管等元器件后，根據(jù)路設(shè)計(jì)要求，將這些元器件用屬薄膜線條連接起來，形成有各種功能的集成路的工藝稱為屬化。屬化工藝是硅集成路制造工藝中非常重要的環(huán)節(jié)。屬化系統(tǒng)和屬化工藝的優(yōu)劣 會影響路的能和可靠。

【原創(chuàng)內(nèi)容】
清潔。第四步在qc完有污垢的區(qū)域后，再用壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會造成起弧的雜質(zhì)粒三、靶材安裝靶材安裝過程中最重要的意事項(xiàng)是一定時建議使用工業(yè)吸塵器進(jìn)行輔助清潔。展屬生產(chǎn)的靶材采用真空密封塑料袋裝,內(nèi)置防潮劑。使用靶材時請不要用手直接接觸靶材。意：使用靶材時請配帶干凈而且不會起絨清潔。第四步在qc完有污垢的區(qū)域后，再用壓低水氣的氬氣沖洗靶材，以除去所有可能在濺射系統(tǒng)中會造成起弧的雜質(zhì)粒三、靶材安裝靶材安裝過程中最重要的意事項(xiàng)是一定用戶對背靶的檢查結(jié)果，如我們現(xiàn)有需要維修的地方會書面通知戶并提供維修報價。影響靶材中的因素主要是反應(yīng)氣體和濺射氣體的比例，反應(yīng)氣體過量就會導(dǎo)致靶中。反應(yīng)屬鉬作為背靶材料。不銹鋼管(SST)–目前最常使用不銹鋼管作為旋轉(zhuǎn)靶材的背管，因?yàn)椴讳P鋼管有良好的強(qiáng)度和導(dǎo)熱而且非常經(jīng)濟(jì)二、背靶重復(fù)使用大部分背靶可以重復(fù)使用，尤我們現(xiàn)有需要維修的地方會書面通知戶并提供維修報價三、裝和運(yùn)輸所有已貼合靶材裝在真空密封塑料袋中，并附有防潮劑。外裝一般為木箱，四周有防撞層，以保護(hù)靶材直接影響真空度獲得和加成膜失敗的可能。短路或靶材起弧，成膜表面粗糙及化學(xué)雜質(zhì)含量超標(biāo)經(jīng)常是由于不潔凈的濺射室、濺射槍和靶材引起的。為保持鍍膜的成分特，濺射第二步與{dy}步類似用酒精清潔；第三步用去離子水清洗。在用去離子水清洗過后再將靶材放置在烘箱中以100攝氏度烘干30分鐘。氧化物及陶瓷靶材的清洗建潔用“無絨布”進(jìn)行