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【汕頭維修技術(shù)好】TTR211SP真空計(jì)
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【汕頭維修技術(shù)好】TTR211SP真空計(jì)

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  TTR211SP萊寶LEYBOLD真空計(jì)

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  TTR211SP萊寶LEYBOLD真空計(jì)

  TTR211SP萊寶LEYBOLD真空計(jì)原理介紹:

  按照真空計(jì)丈量原理所運(yùn)用的不同的物理機(jī)制,可將首要的真空計(jì)分為三大類,分別是運(yùn)用力學(xué)性能、運(yùn)用氣體動力學(xué)效應(yīng)和運(yùn)用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。

  運(yùn)用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);運(yùn)用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);運(yùn)用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

  細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應(yīng)的氣壓值。

  這種規(guī)的丈量規(guī)模一般在100Pa至1atm。

  在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同標(biāo)準(zhǔn)的變形,使得金屬膜片和電極之間的電容改變,經(jīng)過丈量電容的改變量,即可知道金屬膜片上氣壓的改變。

  這種規(guī)的丈量規(guī)模一般橫跨4個量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

  這種規(guī)的長處是靈敏度很高。

  缺點(diǎn)是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下運(yùn)用,以xc溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響,運(yùn)用前一般需求預(yù)熱數(shù)小時。

  也叫做熱電阻真空計(jì),它是運(yùn)用電阻與溫度之間關(guān)系的原理作業(yè)的。

  如右圖所示,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)才能不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,由于氣壓不同經(jīng)過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所堅(jiān)持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻巨細(xì)不同,經(jīng)過丈量熱絲電阻巨細(xì)就能夠計(jì)算氣壓巨細(xì)。

  如果配合電橋丈量熱絲電阻的改變,將有效進(jìn)步丈量的準(zhǔn)確度。

  這種規(guī)的丈量規(guī)模一般在0.1Pa至1000Pa。

  由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同,所以這種規(guī)需求在不同的運(yùn)用氣體下標(biāo)定。

  熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,僅僅它不用丈量熱絲電阻的改變,而是用熱電偶直接丈量熱比的溫度改變。

  丈量規(guī)模一般與在0.1Pa至1000Pa。

  與皮拉尼電阻規(guī)一樣,這種規(guī)也需求在不同的運(yùn)用氣體下標(biāo)定。

  熱陰極電離規(guī)中,由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,電離真空中的氣體分子,發(fā)生離子,由搜集極搜集發(fā)生的離子,形成離子電流,經(jīng)過丈量離子電流的巨細(xì)即可計(jì)算出真空中氣體分子的密度,從而得到氣壓巨細(xì)。

  這種規(guī)的丈量規(guī)模一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

  經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),Bayard-Alpert規(guī),能夠?qū)⒄闪肯孪尴陆抵?.0E-09Pa。

  由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,這種規(guī)在運(yùn)用時也需求在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。

  冷陰極電離規(guī)也是經(jīng)過電離氣體分子搜集離子電流的方法進(jìn)hq壓丈量,但與熱陰極電離規(guī)不同的是,它是運(yùn)用磁控放電電離氣體分子發(fā)生離子。

  這種規(guī)的丈量規(guī)模一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

  與熱陰極電離規(guī)同樣的原因,這種規(guī)在運(yùn)用時需求在不同氣體下標(biāo)定。
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