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顯微熱成像術(shù)參數(shù)_optotherm紅外熱顯微鏡-立特為智能話:15219504346 (溫先)
關(guān)鍵詞: Optotherm IS640 SENTRIS,Thermal Emission Microscope system
1. 它的應(yīng)非常廣泛,去封裝的芯片,未去封裝的芯片,容,F(xiàn)PC,甚小尺寸的路板(PCB、PCBA),這也就讓你可以在樣品的不同階段都可以使thermal術(shù)進(jìn),如下圖示例,樣品路板漏定位到某QFN封裝器件漏,將該器件拆下后現(xiàn)漏善,該器件焊引線來(lái),未封定位為某引腳,封后針再做,進(jìn)一步確認(rèn)為晶圓某引線位置漏導(dǎo)致,如有需要可接著做SEM,FIB等。
未封器件
封器件
2. 它能測(cè)的半導(dǎo)體缺陷也非常廣泛,微安級(jí)漏,低阻抗短路,ES擊傷,閂效應(yīng)點(diǎn),屬層部短路等等,而容的漏和短路點(diǎn)定位,F(xiàn)PC,PCB,PCBA的漏,微短路等也能夠jq定位
lock-in相
封芯片漏
GAN-SIC器件
3,它是無(wú)損:為日常的失效,往往樣品量稀少,這就要求失效術(shù){zh0}是無(wú)損的,而于某些例如陶瓷容和FPC的缺陷,雖然測(cè)能測(cè)存在缺陷,但是具體缺陷位置,市的無(wú)損如XRAY或超聲波,卻很難進(jìn)定位,只能通過(guò)樣品進(jìn)破壞性切片,且只能隨機(jī)挑選位置,而通過(guò)Thermal 術(shù),你需要的只是給樣品,就可以述兩種缺陷進(jìn)定位
FPC缺陷
容缺陷
4,相熱成像(LOCK IN THERMOGRAPHY):相術(shù),將溫度分辨率高到0.001℃,5um分辨率鏡頭,可以測(cè)uA級(jí)漏流和微短路缺陷,遠(yuǎn)由于傳統(tǒng)熱成像及液晶熱點(diǎn)測(cè)法(0.1℃分辨率,mA級(jí)漏流熱點(diǎn))
5,系統(tǒng)能夠測(cè)量芯片等微觀器件的溫度分布,了一種速測(cè)熱點(diǎn)和熱梯度的有效手段,熱分布不僅能顯示缺陷的位置,在半導(dǎo)體領(lǐng)域
在集成路操期間,內(nèi)部結(jié)加熱導(dǎo)致接處的熱量集中。器件中的峰值溫度處于接處本身,并且熱從接部向外傳導(dǎo)到封裝中。因此,器件操期間的jq結(jié)溫測(cè)量是熱表征的組成部分。
芯片附著缺陷可能是由于諸如不充分或污染的芯片附著材料,分層或空隙等原因引起的。Sentris熱工具(如 圖像序列)可于評(píng)估樣品由內(nèi)到外的熱量傳遞過(guò)程,以便確定管芯接的完整性。
OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)為一臺(tái)專為缺陷定位的系統(tǒng),專為子產(chǎn)品FA設(shè)計(jì),通過(guò)特別的LOCK-IN術(shù),使LWIR鏡頭,仍能將將溫度分辨率升到0.001℃(1mK),同時(shí)光學(xué)分辨率{zg}達(dá)到5um,尤其其系統(tǒng)經(jīng)過(guò)多年的優(yōu)化,具有非常易和實(shí),以下是OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)過(guò)程的說(shuō)明視頻
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紅外熱成像顯微鏡
隨著子器件的不斷縮小,熱器和熱耗散變得越來(lái)越重要。微型熱顯微鏡可以測(cè)量并顯示溫度分布的半導(dǎo)體器件的表面,使熱點(diǎn)和熱梯度可顯示缺損位置,通常導(dǎo)致效率下降和早期故障的速檢測(cè)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
檢測(cè)芯片的熱點(diǎn)和缺陷
子元件和路板故障斷
測(cè)量結(jié)溫
甄別芯片鍵缺陷
測(cè)量熱阻封裝
應(yīng)
激光二極管性能和失效
20微/像素固定焦距
50度廣角聚焦鏡頭
320*240非冷測(cè)器
30幀/秒拍攝和顯示速度
0—300攝氏度測(cè)量范圍
室溫測(cè)量
便于使——1分鐘安裝測(cè)量待命
紅外熱成像配
了一廣泛的工具
幫助客戶非常容易而速獲取溫度息。
實(shí)時(shí)的帶狀圖、拍攝及回放序列
不同視角和建設(shè)性的數(shù)據(jù)手段
熱點(diǎn)及缺陷鏈接方法
infrasight MI的紅外攝像機(jī)的靈敏度高結(jié)先進(jìn)的降噪和圖像增強(qiáng)算法檢測(cè)和定位的熱點(diǎn)在半導(dǎo)體器件消耗小于1毫瓦的功率和升高溫度,表現(xiàn)只有0.05攝氏度。短時(shí)間試驗(yàn)中,設(shè)備通常是的5到10秒。I/O模塊使{zd0}功耗是與測(cè)試同步。測(cè)試平均阻低于一歐姆短路檢測(cè)。因?yàn)榈妥瓒搪废?,只有少量的和熱,一系列的測(cè)試可以一起平均高測(cè)試靈敏度。動(dòng)停止功能I/O模塊繼器動(dòng)切斷源,設(shè)備/板為一個(gè)預(yù)先定義的閾值以的短溫度升高。
這種安全功能可以幫助防止設(shè)備/板損壞,同時(shí)定位時(shí)間。微量可于測(cè)量功能的器件結(jié)溫。為了準(zhǔn)確測(cè)量結(jié)溫,一個(gè)模具的表面射率的地圖必須首先被創(chuàng)建。該裝置是安裝在溫階段控在均勻的溫度。然后計(jì)算thermalyze的表面,適于熱圖像糾正射率的變化在死像素的射率的地圖像素。測(cè)量結(jié)溫,設(shè)備,{zg}溫度區(qū)域內(nèi)圍交界處測(cè)量。