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關(guān)鍵詞: Optotherm IS640 SENTRIS,Thermal Emission Microscope system
1. 它的應非常廣泛,去封裝的芯片,未去封裝的芯片,容,F(xiàn)PC,甚小尺寸的路板(PCB、PCBA),這也就讓你可以在樣品的不同階段都可以使thermal術(shù)進,如下圖示例,樣品路板漏定位到某QFN封裝器件漏,將該器件拆下后現(xiàn)漏善,該器件焊引線來,未封定位為某引腳,封后針再做,進一步確認為晶圓某引線位置漏導致,如有需要可接著做SEM,FIB等。
未封器件
封器件
2. 它能測的半導體缺陷也非常廣泛,微安級漏,低阻抗短路,ES擊傷,閂效應點,屬層部短路等等,而容的漏和短路點定位,F(xiàn)PC,PCB,PCBA的漏,微短路等也能夠jq定位
lock-in相
封芯片漏
GAN-SIC器件
3,它是無損:為日常的失效,往往樣品量稀少,這就要求失效術(shù){zh0}是無損的,而于某些例如陶瓷容和FPC的缺陷,雖然測能測存在缺陷,但是具體缺陷位置,市的無損如XRAY或超聲波,卻很難進定位,只能通過樣品進破壞性切片,且只能隨機挑選位置,而通過Thermal 術(shù),你需要的只是給樣品,就可以述兩種缺陷進定位
FPC缺陷
容缺陷
4,相熱成像(LOCK IN THERMOGRAPHY):相術(shù),將溫度分辨率高到0.001℃,5um分辨率鏡頭,可以測uA級漏流和微短路缺陷,遠由于傳統(tǒng)熱成像及液晶熱點測法(0.1℃分辨率,mA級漏流熱點)
5,系統(tǒng)能夠測量芯片等微觀器件的溫度分布,了一種速測熱點和熱梯度的有效手段,熱分布不僅能顯示缺陷的位置,在半導體領(lǐng)域
在集成路操期間,內(nèi)部結(jié)加熱導致接處的熱量集中。器件中的峰值溫度處于接處本身,并且熱從接部向外傳導到封裝中。因此,器件操期間的jq結(jié)溫測量是熱表征的組成部分。
芯片附著缺陷可能是由于諸如不充分或污染的芯片附著材料,分層或空隙等原因引起的。Sentris熱工具(如 圖像序列)可于評估樣品由內(nèi)到外的熱量傳遞過程,以便確定管芯接的完整性。
OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)為一臺專為缺陷定位的系統(tǒng),專為子產(chǎn)品FA設計,通過特別的LOCK-IN術(shù),使LWIR鏡頭,仍能將將溫度分辨率升到0.001℃(1mK),同時光學分辨率{zg}達到5um,尤其其系統(tǒng)經(jīng)過多年的優(yōu)化,具有非常易和實,以下是OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)過程的說明視頻
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國外的顯微熱成像系統(tǒng)大都于冷型焦平面測器,其價格昂貴、體積大、重量大,從而影響了其在國內(nèi)應的普及。非冷焦平面測器具有較高的性能價格比、無需冷等諸多優(yōu)點,因此我國近年來始相繼展非冷型顯微熱成像系統(tǒng)的研究。但由于非冷測器陣列數(shù)目有限及測元尺寸的限,空間采樣頻率無法滿采樣定理,圖像空間分辨力低,混頻現(xiàn)象比較嚴重,而顯微熱成像系統(tǒng)屬于放大模式,很多時候被觀測的象較小,細節(jié)多,因此急需高系統(tǒng)的空間分辨力以滿細微熱領(lǐng)域的需求。而微掃描術(shù)可在不增加測器像素規(guī)模和減小測元尺寸條件下,增加成像系統(tǒng)的空間采樣頻率,減少圖像的頻率混淆效應,減小測器元空間積分的影響,最終可以有效高光成像系統(tǒng)的分辨力,且系統(tǒng)成本較低,xjb高[四-2]。因此,研究將微掃描術(shù)引入到顯微熱成像系統(tǒng)中以高系統(tǒng)空間分辨力具有重要意義和實價值。然而目前關(guān)于顯微熱成像系統(tǒng)的理論研究甚少,而光學微掃描術(shù)應到顯微熱成像系統(tǒng)中的報道更是寥寥無幾。因此今后需大力展于微掃描的非冷顯微熱成像的研究,主要研究問題如下:
(1)以往熱成像系統(tǒng)的性能參數(shù)一般是衡量望遠模式熱成像系統(tǒng)的,不再適于顯微熱成像系統(tǒng)。因此需要針顯微熱成像系統(tǒng)建立這些參數(shù)的數(shù)學模型,給高系統(tǒng)性能的具體方,為系統(tǒng)優(yōu)化設計理論礎。而國內(nèi)外關(guān)于顯微熱成像系統(tǒng)理論的報道甚少,尤其是系統(tǒng)性能參數(shù)的理論體系尚未建立。
(2)微掃描系統(tǒng)的微位移精度是微掃描系統(tǒng)重要的性能指標,也是影響整個顯微熱成像系統(tǒng)性能的重要因素,但微位移誤差的數(shù)學模型尚未建立,而這是系統(tǒng)進優(yōu)化設計的關(guān)鍵。
(3)系統(tǒng)優(yōu)化設計后,仍不可避免的存在誤差,這就需要于微掃描原理,進一步研究計算量小、實時性好的高分辨力過采樣及超分辨力圖像處理算法。
(4)進一步完善光學微掃描高分辨力顯微熱成像系統(tǒng),集成系統(tǒng)的各個部分,并嘗試將該系統(tǒng)造以滿不同領(lǐng)域的需求,加強成果的產(chǎn)品化工。
而這些問題不僅是顯微熱成像系統(tǒng)更是其他光學微掃描高分辨力光成像系統(tǒng)所涉及的深層次問題和普遍性問題,需要亟待解決。
隨著科學術(shù)的展,高精度的紅外顯微熱成像系統(tǒng)在微區(qū)域熱物理和化學問題討、微物測、MEMS優(yōu)化設計等礎學科領(lǐng)域也將起到非常重要的推進,越來越多的領(lǐng)域需要顯微熱成像系統(tǒng)微細結(jié)構(gòu)的熱分布進檢測。因此研搭建結(jié)構(gòu)更加簡、性能更加優(yōu)良的顯微熱成像系統(tǒng),推進高分辨力顯微熱成像系統(tǒng)的實化進程,我國的紅外熱成像及其相關(guān)領(lǐng)域展有著重要的意義,具有廣泛的應前景。
紅外熱顯微鏡多少_optotherm紅外成像顯微鏡-立特為智能的,在選擇測溫范圍時,盡量選擇高低溫跨度比較小的那個,雖然表面測溫精度一樣,但是跨度小的相還是jq一些。三、測呈距離的確定熱像儀的特點之一就是不需要接觸,紅外熱顯微鏡多少_optotherm紅外成像顯微鏡-立特為智能是否會影響準確測量