多晶硅,定向多晶硅配方工藝

1、制備高純定向結(jié)晶多晶硅的設備及其制備方法

[簡介]： 一種制備高純定向結(jié)晶多晶硅的設備包括真空室、冷坩堝、主感應器、結(jié)晶裝置、冷卻器；冷坩堝安裝在真空

室內(nèi)，冷坩堝用紫銅制備成，其包括一圓筒形狀的坩堝壁和一與坩堝壁分離的坩堝底，坩堝壁被分割成若干坩堝瓣，每一

個坩堝瓣...

制備高純定向結(jié)晶多晶硅的設備及其制備方法

[簡介]： 一種具有定向凝固組織多晶硅錠的制備裝置，它涉及一種多晶硅錠的制備裝置，以解決現(xiàn)有多晶硅錠的制備是

在陶瓷或石墨套筒中，套筒內(nèi)壁對多晶硅產(chǎn)生污染，導致多晶硅錠純度低的問題。冷卻器設置在真空室的底板上，拉桿設

置在冷...

冶金法生產(chǎn)太陽能多晶硅用定向凝固器及多晶硅生產(chǎn)方法

[簡介]： 多晶硅的擋板晶圓60置放在支撐塔20的非生產(chǎn)溝槽中，用于熱處理單晶硅晶圓。多晶硅較佳為隨機定向多晶硅ROPSi，優(yōu)選通過使用隨機定向晶種例如CVD成長的硅而以Czochralski方法來成長。熱爐管10的全硅熱區(qū)可以包括...

擋板晶圓及其所用的隨機定向多晶硅

[簡介]： 本發(fā)明屬于多晶硅提純領域，具體涉及一種多晶硅定向凝固裝置，包括爐體，爐體內(nèi)放置有石英坩堝，石英坩堝外壁由內(nèi)向外依次環(huán)繞設置有石墨發(fā)熱體、保溫套筒和感應線圈，石英坩堝底部設置有與爐體底部通連的拉錠機構(gòu)，保溫套筒...

定向凝固冶金法太陽能多晶硅提純設備

[簡介]： 一種采用硅鐵合金定向凝固提純多晶硅的方法，涉及一種多晶硅的提純方法。將工業(yè)硅粉放入鹽酸中浸泡，然后用去離子水沖洗；將硅粉和鐵粉放入石墨坩堝，再將石墨坩堝放入定向凝固爐中，關閉爐蓋，抽真空至10Pa以下，通入氣；打...

一種采用硅鐵合金定向凝固提純多晶硅的方法

[簡介]： 本發(fā)明涉及一種定向凝固法生長鑄錠多晶硅的方法及其熱場，包括熔化、長晶、退火和冷卻過程；鑄錠多晶熱場中的保溫腔是由頂板、側(cè)壁、和底板三部分組成的；其中頂板位置固定，側(cè)壁和底板可上下移動，根據(jù)長晶過程的不同階段的需...