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國產(chǎn)壓力送器高歌猛進,突破外資品成市場主力
在過去的幾十年里,石油化工行業(yè)風光無限,每年都有大筆投資,到處都是千萬噸煉油百萬噸乙烯的大石化項目,但由于不公平公開競爭的存在,國產(chǎn)壓力送器廠家一直被拒之門外,有些在標書上說明要求是進口品或合資品,有些選用國外品給定的參數(shù),有些要求擁有大型石化項目的五年以上應(yīng)用案例,有些設(shè)立推薦供應(yīng)商名單(短名單),但從未有任何技術(shù)文件證明為什么要這么高的精度,符合這樣的國外標準,對于國外品和他們的代理商來說,那是坐著掙的黃金時代,對于國產(chǎn)的自主研發(fā)的壓力送器生產(chǎn)商來說,那是為生存掙扎和奮發(fā)圖強的艱苦歲月,也正是這些磨礪,以一代單晶硅技術(shù)壓力送器為代表的工業(yè)型壓力送器茁壯成長,正在成為國內(nèi)壓力送器行業(yè)的主力軍。
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上海立格儀表有限公司(LEEG)把一代高精度壓力送器命名為單晶硅壓力送器(single crystal silicon pressure transmitter),其采用單晶硅壓力傳感器作為敏感核心部件,精度達到0.05%F.S的高性能及極具xjb單晶硅技術(shù)壓力送器,單晶硅壓力傳感器位于金屬本體最頂部,遠離介質(zhì)接觸面,實現(xiàn)機械隔離和熱隔離;玻璃燒結(jié)一體的傳感器引線實現(xiàn)了與金屬基體的高強度電氣絕緣,從容應(yīng)對極端的化學場合和機械負荷,同時具備極強的抗電磁干擾能力,徹底解決電容差壓送器的問題,獲得廣大的用戶的認可,國內(nèi)各個廠商紛紛放棄電容壓力送器,跟隨開發(fā)單晶硅壓力送器產(chǎn)品,從此開啟了國產(chǎn)工業(yè)型壓力送器的單晶硅技術(shù)時代。
同時,上海立格在核心技術(shù)研發(fā)上持續(xù)加大投入,在單晶硅微差壓傳感器的取得技術(shù)突破進展,在更高要求的微差壓0-250Pa量程的氣體流量、差壓測量中的具有高精度長期穩(wěn)定的突出表現(xiàn),從此縮小了國產(chǎn)壓力送器與進口品的性能差異,成為國內(nèi)空氣、煙氣、尾氣等氣體流量測量的領(lǐng)域領(lǐng)導品,gd流程工業(yè)壓力送器開始進入國產(chǎn)與進口品同臺競技的時代。
單晶硅,是硅的單晶體,具有金剛石晶格,晶體硬而脆,是重要的半導體材料,采用先進的切、磨、拋和光刻、鍵合、膜屏蔽的特殊工藝進行敏感元件加工,并在潔凈車間中進行核心單晶硅壓力傳感器的封裝,通過后續(xù)先進工藝流程生產(chǎn)單晶硅壓力送器整機。
單晶硅傳感器采用微電子機械加工技術(shù)(MEMS)精密制造,高低端壓力通過隔離膜片和填充液傳遞到單晶硅敏感元件,受力時惠斯登電橋失衡電阻值發(fā)生化,利用電流激勵,轉(zhuǎn)換成與差壓值成線性化電壓值輸出。
全隔離封裝,{yx}的抗干擾能力——單晶硅敏感元件絕緣安裝在傳感器膜盒內(nèi)部,測量壓力通過隔離膜片和填充液傳遞,從而實現(xiàn)了全隔離封裝,避免受到測量和環(huán)境的溫度化、電氣干擾和機械振動影響。
高頻響應(yīng)能力——單晶硅材質(zhì)具有優(yōu)異的性能,其固有諧振頻率超過500Hz,壓力傳遞到敏感元件上,立即被感應(yīng)被轉(zhuǎn)換為信號輸出,整體響應(yīng)時間不超過5mS,適合高頻動態(tài)場合應(yīng)用。
強大的抗過載能力——雙過載保護技術(shù),中心膜片和隔離膜片組成雙過載保護,正常測量中,隔離膜片接觸壓力形,填充液傳遞給中心膜片和敏感元件。隔離膜片與堅固膜盒本體有相同的波紋結(jié)構(gòu),高低壓某端壓力過大時,中心膜片在高壓下的形,避免過多填充液傳遞給敏感元件,隔離膜片完成緊貼膜盒本體,即使壓力繼續(xù)增大,填充液也不再傳遞給敏感元件,從而實現(xiàn)了過載保護,單晶硅材料的彈性性能{jj0},恢復正常后不影響測量。
傳感器模塊化——在生產(chǎn)中,傳感器按照工作范圍的壓力和溫度進行循環(huán)測試,進行6個溫度段和15個點線性化補償,所有計算數(shù)據(jù)都保留在傳感器膜盒內(nèi)部自帶內(nèi)存中,在后續(xù)生產(chǎn)或維修中,送模塊可以通過讀取內(nèi)存中的數(shù)據(jù),實現(xiàn)高精度輸出。