從結構上分為臥式、立式、箱式,從真空度上分為低真空、高真空,從使用溫度上分為低溫、高溫,從真空室材料上分為石英管、耐熱
不銹鋼管,從真空獲得上分機械泵、機械泵+擴散泵、機械泵+分子泵。
設備用途:廣泛用于電力電子器件、玻封二級管、氣體放電管、磁性材料、熱敏電阻等器件的真空燒結、封裝、焊接、合金、退火等工藝。
主要技術指標:
★工位: 單、雙、三工位
★工作溫度: 300~1100℃(不銹鋼真空室{zg}1000℃)
★真空度: 優(yōu)于5×10-3 Pa
★真空室直徑:Φ150~300 mm
★恒溫區(qū)長度:400~1000 mm
★控制精度: ±1.0~3.0℃
★爐體移動速度:0~400 mm/min
★{zd0}充氣壓力:0.5 MPa (不銹鋼真空室)
★加熱功率: 10~80 KVA
★控制系統(tǒng): 進口儀表+PLC+觸摸屏
★安全連鎖保護:超溫、斷偶、缺水、壓力異常保護報警