大粒徑硅溶膠膠粒具有龐大的比表面積(表面多介孔結(jié)構(gòu))和 的吸附能力以及較強的穩(wěn)定性和粘結(jié)性能,在化學機械拋光中可以形成堅固的膜,不容易發(fā)生龜裂,同時硅溶膠膠粒粒徑越大,硅溶膠附著在固體表面時的摩擦系數(shù)越大,從而改善了材料表面的耐磨性。且要求硅溶膠中無有機物,同時顆粒分散均勻,濃度要高,這是拋光硅溶膠的關(guān)鍵所在。