小型高溫真空蒸鍍儀 相關(guān)信息由 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司提供。如需了解更詳細(xì)的 小型高溫真空蒸鍍儀 的信息,請點擊 http://www.nciecn.com/b2b/zzktyq.html 查看 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司 的詳細(xì)聯(lián)系方式。
小型蒸鍍儀鄭州科探儀器KT-Z1650CVD是一款小型臺式加熱功率可控蒸發(fā)鍍膜儀,儀器雖小功能齊全,配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉(zhuǎn),樣品高度調(diào)節(jié),及電動擋板功能。通過定時調(diào)節(jié)預(yù)熱功率及蒸發(fā)功率,可對大部分金屬進(jìn)行均勻蒸發(fā)沉積,真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染,樣品臺可旋轉(zhuǎn)以獲得更均勻的薄膜,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜
小型濺射儀
小型蒸鍍儀鄭州科探儀器技術(shù)資料
控制方式 |
7寸人機(jī)界面 手動 自動模式切換控制 |
加熱方式 |
數(shù)字式功率調(diào)整器 |
鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 |
≤1200W |
輸出電壓電流 |
電壓≤12V 電流≤120A |
真空度 |
機(jī)械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa |
擋板類型 |
電控 |
真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 |
可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離 |
70-140mm |
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié) |
≤1800℃ |
支持蒸發(fā)坩堝類型 |
鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟 碳繩 |
預(yù)留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口 |
可選配擴(kuò)展 |
機(jī)械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa) 數(shù)顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa) 分子泵機(jī)組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa) |