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桌面式真空濺射儀KT-Z1650PVD離子濺射儀為一種有著緊湊結(jié)構(gòu)的桌上型鍍膜系統(tǒng),對于掃描電鏡成像中非導電樣品高質(zhì)量鍍膜尤為適用。試樣干燥清潔為離子濺射鍍膜的基本要求。在必要時,交換試樣與陰極的位置利用火花放電從而對試樣表面進行清潔,之后試樣復原,再進行濺射鍍膜。鐵、鎳、銅鉛等為離子濺射儀常用的陰極材料,有時電剛金、鉑、鈀、銦和其他金屬也能夠作為陰極材料,氧氣為離子濺射儀常用的反應氣體。
*外形小巧方便移動
*觸摸屏控制,工藝記憶儲存方便鍍相同樣品
*自動化電動擋板,能自動打開關閉,保證鍍樣時間和保護樣品
*石英+不銹鋼腔體,方便觀察和清洗
桌面式真空濺射儀KT-Z1650PVD廠家供應技術參數(shù);
控制方式 |
7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
濺射電源 |
直流濺射電源 |
鍍膜功能 |
0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 |
≤1000W |
輸出電壓電流 |
電壓≤1000V 電流≤1A |
真空 |
機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤5*10^-3Pa |
濺射真空 |
≤30Pa |
擋板類型 |
電控 |
真空腔室 |
石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm |
樣品臺 |
可旋轉(zhuǎn)φ62 (可安裝φ50基底) |
樣品臺轉(zhuǎn)速 |
8轉(zhuǎn)/分鐘 |
樣品濺射源調(diào)節(jié)距離 |
40-105mm |
真空測量 |
皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa) |
預留真空接口 |
KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口
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