PECVD射頻模塊 相關(guān)信息由 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司提供。如需了解更詳細(xì)的 PECVD射頻模塊 的信息,請(qǐng)點(diǎn)擊 http://www.nciecn.com/b2b/zzktyq.html 查看 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司 的詳細(xì)聯(lián)系方式。
PECVD射頻模塊:PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。
PECVD射頻模塊的技術(shù)資料
型號(hào) |
KT--PE150S |
KT-PE500Z |
信號(hào)頻率 |
13.56MH? ±0.005% |
|
功率輸出范圍 |
0-150W |
0-500W |
功率穩(wěn)定度 |
≤5W |
|
反射功率 |
40W |
|
射頻輸出接口 |
7/16 female 50 Ω |
|
功率穩(wěn)定度 |
≤5W |
|
匹配方式 |
手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配 |
500W自動(dòng)匹配 |
耦合方式 |
電感式耦合 |
|
輝光壓力 |
≤30Pa |
|
供電電壓 |
AC220V±10% 50/60H? |
|
整機(jī)效率 |
≥70% |
|
冷卻方式 |
強(qiáng)制風(fēng)冷 |
|
支持爐管直徑 |
Φ25mm--φ80mm |
Φ25mm--150mmφ |
感應(yīng)區(qū) |
210mm |
|
整機(jī)重量 |
48KG |
|
整機(jī)尺寸:H×W×D(mm) |
600×600×1100 |