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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司
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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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    目前公司已研發(fā)生產(chǎn)產(chǎn)品十多個(gè)系列幾十款產(chǎn)品,產(chǎn)品囊括實(shí)驗(yàn)電爐   CVD供氣系統(tǒng)   等離子清洗機(jī)   小型離子濺射儀   小型蒸鍍儀  石英管真空封口 真空探針臺(tái)  半導(dǎo)體等。 主要適用于科研院校及工礦企業(yè)在新材料、新能源等領(lǐng)域物理特性及化學(xué)特性的研究,廣銷(xiāo)于各大院校,及材料研究所。

    公司與國(guó)內(nèi)高校,科研院所有多層次的合作關(guān)系,建有開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室,相關(guān)領(lǐng)域的教授、工程師、博士參與公司產(chǎn)品的研究和開(kāi)發(fā)。我們秉承公司的發(fā)展理念,依靠嚴(yán)謹(jǐn)?shù)募夹g(shù)研發(fā)能力,科學(xué)合理的生產(chǎn)工藝,精益求精的制造要求,全心全意做好產(chǎn)品質(zhì)量和服務(wù)工作,科探儀器時(shí)刻懷著一顆真誠(chéng)的心期待與您的合作。

PECVD射頻模塊:PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體,輝光放電等離子體中:電子密度高109--1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍,使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)物質(zhì),從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電,有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征,從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn),工藝流程簡(jiǎn)單,與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較,生長(zhǎng)溫度更低,管輝光均勻等效,薄膜均勻沉積。

PECVD射頻模塊的技術(shù)資料

型號(hào)

KT--PE150S

KT-PE500Z

信號(hào)頻率

13.56MH? ±0.005%

功率輸出范圍

0-150W

0-500W

功率穩(wěn)定度

5W

反射功率

40W

射頻輸出接口

7/16 female 50 Ω

功率穩(wěn)定度

5W

匹配方式

手動(dòng)調(diào)節(jié)匹配

500W自動(dòng)匹配

耦合方式

電感式耦合

輝光壓力

30Pa

供電電壓

AC220V±10%   50/60H?

整機(jī)效率

70%

冷卻方式

強(qiáng)制風(fēng)冷

支持爐管直徑

Φ25mm--φ80mm

Φ25mm--150mmφ

感應(yīng)區(qū)

210mm

整機(jī)重量

48KG

整機(jī)尺寸:H×W×D(mm)

600×600×1100


鄭重聲明:產(chǎn)品 【PECVD射頻模塊】由 鄭州科探儀器設(shè)備有限公司 發(fā)布,版權(quán)歸原作者及其所在單位,其原創(chuàng)性以及文中陳述文字和內(nèi)容未經(jīng)(企業(yè)庫(kù)www.nciecn.com)證實(shí),請(qǐng)讀者僅作參考,并請(qǐng)自行核實(shí)相關(guān)內(nèi)容。若本文有侵犯到您的版權(quán), 請(qǐng)你提供相關(guān)證明及申請(qǐng)并與我們聯(lián)系(qiyeku # qq.com)或【在線(xiàn)投訴】,我們審核后將會(huì)盡快處理。
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