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Ti-AI合金系列靶材通常是被用于功能性膜層,在沉積過程中與氮?dú)夥磻?yīng)生成TiAIN涂層,具有很好的韌性和抗氧化性,使鉆頭、刀具、可轉(zhuǎn)位刀片以及其它工模具的切削速度、切削性能大幅提高。當(dāng)作為裝飾性膜層在沉積過程中與不同氣體反應(yīng),可呈現(xiàn)黑色、咖啡色等一系列顏色。