上海伯東美國 KRI 線性霍爾離子源 eH Linear 相關(guān)信息由 伯東企業(yè)（上海）有限公司提供。如需了解更詳細(xì)的 上海伯東美國 KRI 線性霍爾離子源 eH Linear 的信息，請點(diǎn)擊 http://www.nciecn.com/b2b/hakuto.html 查看 伯東企業(yè)（上海）有限公司 的詳細(xì)聯(lián)系方式。
KRI 線性霍爾 eH Linear
上海伯東代理美國原裝進(jìn)口 KRI 線性使用 eH 400 做為模組, 能應(yīng)用于寬范圍的襯底, 離長度高達(dá) 1 米, 通過嚴(yán)格調(diào)整模組間的距離可以實(shí)現(xiàn)更佳的均勻性和離子流. 由于模組是平行放置, 大大簡化了氣體, 功率和電子三者的分布. KRI 線性使用標(biāo)準(zhǔn)的端部霍爾模組并使設(shè)備的需求簡化, 一個低成本, 高電流和低能量的離子束可以很好的使用于 web 涂層, in-line 沉積和圓柱旋轉(zhuǎn)濺射系統(tǒng).
霍爾離子源 eH 400 尺寸
尺寸: 直徑= 3.7“ 高= 3”
放電電壓 / 電流: 50-300eV / 5A
操作氣體: Ar, Xe, Kr, O2, N2, 有機(jī)前體
KRI 霍爾 eH Linear 技術(shù)參數(shù)
|
型號 |
eHL400-2/ eHL400-3/ eHL400-4/ eHL400-5 |
|
供電 |
DC magnetic confinement |
|
- 電壓 |
40-200V VDC |
|
- 陽極結(jié)構(gòu) |
模塊化 |
|
電源控制 |
eHL-30010A |
|
配置 |
- |
|
- 陰極中和器 |
Filamentless |
|
- 離子束發(fā)散角度 |
> 45° (hwhm) |
|
- 陽極 |
標(biāo)準(zhǔn)或 Grooved |
|
- 底座 |
移動或快接法蘭 |
|
- 高度 |
10 cm |
|
寬度 |
10 cm |
|
- 長度 |
~ 100cm |
|
-工藝氣體 |
Ar, Xe, Kr, O2, N2, Others |
|
Model |
eHL 200-3 |
eHL 200-5 |
|
Height (nominal) |
2.9” (7.4cm) |
2.9” (7.4cm) |
|
Width (nominal) |
3.3” (8.4cm) |
3.3” (8.4cm) |
|
Length (nominal) |
Determined by number of modules & application |
Determined by number of modules & application |
|
Cathode/Neutralizer |
Yes |
Yes |
|
Anode module |
Yes |
Yes |
|
Filamentless |
Yes |
Yes |
|
Orientation |
Vertical / Horizontal |
Vertical / Horizontal |
|
Process gases |
Inert, reactive, & organic |
Inert, reactive, & organic |
|
Power controller |
eH Plasma Power Pack |
eH Plasma Power Pack |
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美國創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研發(fā)生產(chǎn), 和. 美國歷經(jīng) 40 年改良及發(fā)展已取得多項(xiàng)專利. 離子源廣泛用于離子清洗 PC, 離子蝕刻 IBE, 輔助鍍膜 IBAD, 離子濺射鍍膜 IBSD 領(lǐng)域, 上海伯東是美國中國總代理.
若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論, 請參考以下聯(lián)絡(luò)方式:
上海伯東: 羅先生 臺灣伯東: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯東版權(quán)所有, 翻拷必究!
