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高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL
高低溫探針臺系統(tǒng)達到≤10Pa即可進行低溫測試而無凝露或結(jié)霜。對于選用了入門級配置的用戶,可選用雙極旋片式機械泵即可達到目標(biāo)真空度,從而減少設(shè)備的配置預(yù)算。對于真空度有更高要求的用戶,可選用分子泵組對系統(tǒng)進行抽真空。低溫探針臺系統(tǒng)可達10-3Pa。也可選配更高真空度的泵組,以滿足測試要求。
為了減少泵組的振動,我們還專門為用戶設(shè)計了隔振器,很大程度地衰減泵組工作時產(chǎn)生的振動,以確保系統(tǒng)的穩(wěn)定,減少探針的漂移。
高低溫真空探針臺KT-Z160T-RL參數(shù)
真空腔體 |
|
腔體材質(zhì) |
304不銹鋼 |
上蓋開啟 |
鉸鏈側(cè)開 |
加熱臺材質(zhì) |
304不銹鋼 |
內(nèi)腔體尺寸 |
φ160x90mm |
觀察窗尺寸 |
Φ70mm |
加熱臺尺寸 |
φ60mm |
觀察窗熱臺間距 |
75mm |
加熱臺溫度 |
﹣196~350℃ |
加熱臺溫控誤差 |
±1℃ |
真空度 |
機械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa |
允許正壓 |
≤0.1MPa |
真空抽氣口 |
KF25真空法蘭 |
氣體進氣口 |
3mm-6mm卡套接頭 |
電信號接頭 |
SMA轉(zhuǎn)BNC X 4 |
電學(xué)性能 |
絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤500V |
探針數(shù)量 |
4探針 |
探針材質(zhì) |
鎢針 |
探針尖 |
10μm |
探針移動平臺 |
|
X軸移動行程 |
30mm ±15mm |
X軸控制精度 |
≤0.01mm |
Y軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
Y軸控制精度 |
≤0.01mm |
Z軸移動行程 |
13mm ±12.5mm |
Z軸控制精度 |
≤0.01mm |
電子顯微鏡 |
|
顯微鏡類別 |
物鏡 |
物鏡倍數(shù) |
0.7-4.5倍 |
工作間距 |
90mm |
相機 |
sony 高清 |
像素 |
1920※1080像素 |
圖像接口 |
VGA |
LED可調(diào)光源 |
有 |
顯示屏 |
8寸 |
放大倍數(shù) |
19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm,最小可分辨0.08mm |