層流凈化的概念與作用
層流凈化,是指氣流以勻速向一定方向輸送,通過(guò){gx}過(guò)濾器凈化,呈流線狀進(jìn)入手術(shù)室內(nèi),再以等速通過(guò)手術(shù)空間后流出。手術(shù)室內(nèi)的塵粒和病原微生物隨氣流方向被排出,不會(huì)在室內(nèi)擴(kuò)散,層流手術(shù)室即以此設(shè)計(jì)而得名。
層流系統(tǒng)是達(dá)到空氣凈化、創(chuàng)造潔凈手術(shù)空間的一種先進(jìn)設(shè)備,是目前一種安全有效、經(jīng)濟(jì)方便的空氣cj手段。
事件進(jìn)行統(tǒng)計(jì)、分析、總結(jié)、報(bào)告。
凈化工程潔凈室中的溫濕度控制
如何控制凈化工程潔凈室中的溫濕度??jī)艋こ虧崈羰抑械臏貪穸瓤刂迫缦拢簝艋こ虧崈羰抑械臏貪穸戎饕歉鶕?jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)慮到人的舒適度感?! ∪绾慰刂苾艋こ虧崈羰抑械臏貪穸???jī)艋こ虧崈羰抑械臏貪穸瓤刂迫缦拢?/p>
凈化工程潔凈室中的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定,但在滿足工藝要求的條件下,應(yīng)慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高,出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。
凈化工程具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉,但作為總的原則看,由于加工精度越來(lái)越精細(xì),所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間,這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。
凈化工程潔凈室濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外,濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以qc。相對(duì)濕度越高,粘附的難去掉,但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí),又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面,同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)溫度范圍為35—45%。
醫(yī)院凈化設(shè)備與節(jié)能并駕齊驅(qū)
凈化工程公司目前市場(chǎng)太多,大多我們?cè)谶x擇的時(shí)候迷茫,在這里有更好的技巧,減小塵埃對(duì)凈化空調(diào)瑣屑的影響。建造結(jié)構(gòu)和功底配置減少凈化空間,防止全室梗直凈級(jí)其他設(shè)計(jì),而換氣次數(shù)大多由腌臜級(jí)別所必定。冷凝器盡量采納局部再凈化的順序,對(duì)清潔度級(jí)別申請(qǐng)高的把持部位,傳染瑣細(xì)送風(fēng)量主要取決于清潔周邊體積與換氣次數(shù),如運(yùn)用超凈工作臺(tái)、自?xún)羝?、層流罩及潔凈隧道等?lái)完成局部氣流高凈化級(jí)其余申請(qǐng)。低風(fēng)量化即合理地拔取換氣次數(shù)可以削減送風(fēng)動(dòng)和耗損。削減感染空間即可降低干凈瑣細(xì)的風(fēng)量。