傳感技術(shù)是當(dāng)今世界發(fā)展最為迅速的高新技術(shù)之一。新型傳感器不僅追求高精度、大量程、高可靠、低功耗和微型化，并且向著集成化、多功能、智能化和網(wǎng)絡(luò)化的方向發(fā)展，以滿足工業(yè)、農(nóng)業(yè)、國防和科研等各個(gè)領(lǐng)域的需求。光纖傳感技術(shù)是20世紀(jì)70年隨著光纖技術(shù)和光通信技術(shù)的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的。它表了新一傳感技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)。光纖傳感器的產(chǎn)業(yè)已被國內(nèi)外公認(rèn)為具有發(fā)展前途的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)之一，它以技術(shù)含量高、經(jīng)濟(jì)效益好、滲透能力強(qiáng)、市場(chǎng)前景廣等特點(diǎn)為世人所矚目。

接觸電容式高溫壓力傳感器的溫度效應(yīng)

隨著微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的發(fā)展，微小尺寸的半導(dǎo)體傳感器得到快速發(fā)展。半導(dǎo)體傳感器具有體積小、重量輕、精度高、成本低、溫度特性好等優(yōu)點(diǎn)，其制造工藝和半導(dǎo)體平面工藝兼容，滿足傳感器向智能化和集成化發(fā)展的需要。從航空航天、石油化工用的儀器到渦輪發(fā)動(dòng)機(jī)、內(nèi)燃機(jī)的監(jiān)測(cè)和控制，越來越多的領(lǐng)域都要求工作溫度在200℃以上的壓力傳感器。常見的高溫壓力傳感器材料有多晶硅、石英、 SiC、SOI(Silicon on Insulator)、SOS(藍(lán)寶石上硅)等。SOI的低壓、低功耗、電隔離等優(yōu)勢(shì)，提高了傳感器對(duì)惡劣環(huán)境的適應(yīng)性，基于硅隔離SOI技術(shù)的耐高溫壓力傳感器得到了廣泛應(yīng)用。相對(duì)于硅壓阻式壓力傳感器，電容式壓力傳感器具有低噪聲、高靈敏度、低溫漂、動(dòng)態(tài)變化范圍大等顯著優(yōu)點(diǎn)。

微波感應(yīng)控制器和市場(chǎng)上常見的簡(jiǎn)易型微波感應(yīng)控制器相比較，因?yàn)椴捎脤Ｓ玫奈⑻幚砑呻娐稨T7610A，不但檢測(cè)靈敏度度高，探測(cè)范圍寬，而且工作非?？煽?，誤報(bào)率極低，能在－25～＋45度的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，最適和在中、防盜報(bào)警系統(tǒng)中作人體移動(dòng)檢測(cè)傳感頭使用。

微波感應(yīng)控制器使用直徑9厘米的微型環(huán)形天線作微波探測(cè)，其天線在軸線方向產(chǎn)生一個(gè)橢圓形半徑為0～5米（可調(diào)）空間微波戒備區(qū)，當(dāng)人體活動(dòng)時(shí)其反射的回波和微波感應(yīng)控制器發(fā)出的原微波場(chǎng)（或頻率）相干涉而發(fā)生變化，這一變化量經(jīng)HT7610A 進(jìn)行檢測(cè)、放大、多重比較以及延遲處理后由白色導(dǎo)線輸出電壓控制信號(hào)。