斯坦福大學所展示的這一技術(shù)進步則標志著完整的工作電路已被創(chuàng)造出來,表明這種材料可能真的會達到人們的期望。
硅是一種普遍存在的自然元素,既可當做導體,也可當做絕緣體。硅芯片的生命周期相較計算機工程師原本的設(shè)想已經(jīng)長了數(shù)十年,這是因為雖然晶體管的尺寸在一變小,但人們總有相應(yīng)的先進工藝在上面蝕刻電路。
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拋光后,晶圓片要通過一系列清洗槽的清洗,這一過程是為去除表面顆粒、金屬劃痕和殘留物。之后,要經(jīng)常進行背面擦洗以去除的顆粒。這些晶圓片經(jīng)過清洗后,將他們按照最終用戶的要求分類,并在高強度燈光或激光掃描系統(tǒng)下檢查,以便發(fā)現(xiàn)不必要的顆粒或其他缺陷。
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拋光(化學機械拋光,Chemical Mechanical Polishing) 生產(chǎn)過程中最重要的工藝是拋光晶圓片,此工藝在超凈間中進行。超凈間從一到一萬分級,這些級數(shù)對應(yīng)于每立方米空間中的顆粒數(shù)。
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