國產(chǎn)壓力送器高歌猛進，突破外資品成市場主力

在過去的幾十年里，石油化工行業(yè)風光無限，每年都有大筆投資，到處都是千萬噸煉油百萬噸乙烯的大石化項目，但由于不公平公開競爭的存在，國產(chǎn)壓力送器廠家一直被拒之門外，有些在標書上說明要求是進口品或合資品，有些選用國外品給定的參數(shù)，有些要求擁有大型石化項目的五年以上應用案例，有些設立推薦供應商名單（短名單），但從未有任何技術文件證明為什么要這么高的精度，符合這樣的國外標準，對于國外品和他們的代理商來說，那是坐著掙的黃金時代，對于國產(chǎn)的自主研發(fā)的壓力送器生產(chǎn)商來說，那是為生存掙扎和奮發(fā)圖強的艱苦歲月，也正是這些磨礪，以一代單晶硅技術壓力送器為代表的工業(yè)型壓力送器茁壯成長，正在成為國內壓力送器行業(yè)的主力軍。

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上海立格儀表有限公司（LEEG）把一代高精度壓力送器命名為單晶硅壓力送器（single crystal silicon pressure transmitter），其采用單晶硅壓力傳感器作為敏感核心部件，精度達到0.05%F.S的高性能及極具xjb單晶硅技術壓力送器，單晶硅壓力傳感器位于金屬本體最頂部，遠離介質接觸面，實現(xiàn)機械隔離和熱隔離；玻璃燒結一體的傳感器引線實現(xiàn)了與金屬基體的高強度電氣絕緣，從容應對極端的化學場合和機械負荷，同時具備極強的抗電磁干擾能力，徹底解決電容差壓送器的問題，獲得廣大的用戶的認可，國內各個廠商紛紛放棄電容壓力送器，跟隨開發(fā)單晶硅壓力送器產(chǎn)品，從此開啟了國產(chǎn)工業(yè)型壓力送器的單晶硅技術時代。

同時，上海立格在核心技術研發(fā)上持續(xù)加大投入，在單晶硅微差壓傳感器的取得技術突破進展，在更高要求的微差壓0-250Pa量程的氣體流量、差壓測量中的具有高精度長期穩(wěn)定的突出表現(xiàn)，從此縮小了國產(chǎn)壓力送器與進口品的性能差異，成為國內空氣、煙氣、尾氣等氣體流量測量的領域領導品，gd流程工業(yè)壓力送器開始進入國產(chǎn)與進口品同臺競技的時代。

      單晶硅，是硅的單晶體，具有金剛石晶格，晶體硬而脆，是重要的半導體材料，采用先進的切、磨、拋和光刻、鍵合、膜屏蔽的特殊工藝進行敏感元件加工，并在潔凈車間中進行核心單晶硅壓力傳感器的封裝，通過后續(xù)先進工藝流程生產(chǎn)單晶硅壓力送器整機。

      單晶硅傳感器采用微電子機械加工技術（MEMS）精密制造，高低端壓力通過隔離膜片和填充液傳遞到單晶硅敏感元件，受力時惠斯登電橋失衡電阻值發(fā)生化，利用電流激勵，轉換成與差壓值成線性化電壓值輸出。

     全隔離封裝，{yx}的抗干擾能力——單晶硅敏感元件絕緣安裝在傳感器膜盒內部，測量壓力通過隔離膜片和填充液傳遞，從而實現(xiàn)了全隔離封裝，避免受到測量和環(huán)境的溫度化、電氣干擾和機械振動影響。

     高頻響應能力——單晶硅材質具有優(yōu)異的性能，其固有諧振頻率超過500Hz，壓力傳遞到敏感元件上，立即被感應被轉換為信號輸出，整體響應時間不超過5mS，適合高頻動態(tài)場合應用。

     強大的抗過載能力——雙過載保護技術，中心膜片和隔離膜片組成雙過載保護，正常測量中，隔離膜片接觸壓力形，填充液傳遞給中心膜片和敏感元件。隔離膜片與堅固膜盒本體有相同的波紋結構，高低壓某端壓力過大時，中心膜片在高壓下的形，避免過多填充液傳遞給敏感元件，隔離膜片完成緊貼膜盒本體，即使壓力繼續(xù)增大，填充液也不再傳遞給敏感元件，從而實現(xiàn)了過載保護，單晶硅材料的彈性性能{jj0}，恢復正常后不影響測量。

     傳感器模塊化——在生產(chǎn)中，傳感器按照工作范圍的壓力和溫度進行循環(huán)測試，進行6個溫度段和15個點線性化補償，所有計算數(shù)據(jù)都保留在傳感器膜盒內部自帶內存中，在后續(xù)生產(chǎn)或維修中，送模塊可以通過讀取內存中的數(shù)據(jù)，實現(xiàn)高精度輸出。