超純水最初是美國(guó)科技界為了研制超純材料(半導(dǎo)體原件材料、納米精細(xì)陶瓷材料等)應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來(lái)的水，如今超純水已在生物、醫(yī)藥、汽車(chē)等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒(méi)有什么雜質(zhì)，更沒(méi)有xj、病毒、含氯等有機(jī)物，當(dāng)然也沒(méi)有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，超純水無(wú)硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。

超純水,是一般工藝超純水運(yùn)行流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟水器→精密過(guò)濾器→一級(jí)反滲透主機(jī)→中間水箱→中間水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過(guò)濾器→用水點(diǎn)

1、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線sj器→拋光混床→精密過(guò)濾器→用水對(duì)象 
（≥18MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)
2、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線sj器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象（≥18MΩ.CM）(工藝)
3、預(yù)處理→一級(jí)反滲透→加藥機(jī)（PH調(diào)節(jié)）→中間水箱→第二級(jí)反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線sj器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象（≥17MΩ.CM）(工藝)
4、預(yù)處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線sj器→0.2或0.5μm精密過(guò)濾器→用水對(duì)象（≥15MΩ.CM）(工藝)
5、預(yù)處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線sj器→精密過(guò)濾器→用水對(duì)象 
（≥15MΩ.CM）(傳統(tǒng)工藝)以上工藝各有各的優(yōu)勢(shì)，你可以根據(jù)你自身的情況選購(gòu)適合你的工藝。隨著科學(xué)的發(fā)展，很多新的工藝已經(jīng)替代了舊的工藝。用反滲透法制取高純水已經(jīng)普及，也是最為現(xiàn)今的工藝。
很難達(dá)到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm則稱為超純水。