三豐輪廓形狀測量儀CV-3200/CV-4500 相關信息由 浙江藍箭儀器有限公司提供。如需了解更詳細的 三豐輪廓形狀測量儀CV-3200/CV-4500 的信息,請點擊 http://www.nciecn.com/b2b/lanjianyiqi.html 查看 浙江藍箭儀器有限公司 的詳細聯(lián)系方式。
貨號
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CV-3200S4
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CV-3200H4
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CV-3200W4
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CV-3200S8
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CV-3200H8
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CV-3200W8
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CV-4500S4
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CV-4500H4
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CV-4500W4
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CV-4500S8
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CV-4500H8
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CV-4500W8
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測量范圍
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X軸
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100mm
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200mm
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Z1 軸(檢出器)
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60mm (水平位置±30mm)
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Z2 軸 (立柱) 移動范圍
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300mm
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500mm
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300mm
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500mm
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Z1 軸
(檢出器) |
光柵尺類
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弧形
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分辨力
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CV-3200 系列: 0.04μm, CV-4500 系列: 0.02μm
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測針上/ 下運
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弧形移動
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測量方向
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向前/ 向后
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測針方向
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CV-3200 系列: 垂直方向 (向上/ 向下單獨測量);
CV-4500 系列: 垂直方向 (向上/ 向下根據(jù)配重調(diào)整) |
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測力
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CV-3200 系列: 30mN (上下可連續(xù)測量);
CV-4500 系列: 10, 20, 30, 40, 50mN (根據(jù)軟件轉(zhuǎn)換) |
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跟蹤角度
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向上: 77o, 向下: 83o(根據(jù)表面粗糙度,使用標準單切面測針*1)
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驅(qū)動部
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長度基準
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X軸
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激光全息光柵尺
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Z2軸(立柱)
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ABS 光柵尺
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分辨力
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X軸
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0.05 μm
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Z2軸(立柱)
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1 μm
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驅(qū)動速度
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X軸
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0 - 80mm/s 外加手動
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Z2軸(立柱)
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0 - 30mm/s 外加手動
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測量速度
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X軸
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0.02 - 5mm/s
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直線度*2
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X軸
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0.8μm/100mm
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2μm/200mm
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傾角范圍
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X軸
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±45o
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精度(20oC)
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CV-3200
系列
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X軸
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±(0.8+0.01L)μm L = 驅(qū)動長度 (mm)
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±(0.8+0.02L)μm L = 驅(qū)動長度 (mm)
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寬范圍: 1.8μm/100mm
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寬范圍: 4.8μm/200mm
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窄范圍: 1.05μm/25mm
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窄范圍: 1.3μm/25mm
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Z1軸(檢出器)
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±(1.6+|2H|/100)μm H = 水平位置上的測量高度 (mm)
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CV-4500
系列
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X軸
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±(0.8+0.01L)μm L = 驅(qū)動長度 (mm)
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±(0.8+0.01L)μm L = 驅(qū)動長度 (mm)
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寬范圍: 1.8μm/100mm
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寬范圍: 1.8μm/100mm
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窄范圍: 1.05μm/25mm
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窄范圍: 1.05μm/25mm
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Z1軸(檢出器)
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±(0.8+|2H|/100)μm H = 水平位置上的測量高度 (mm)
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主機*3外形尺寸 (W×D×H)
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756×482×966mm
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重量
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主機
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140kg
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150kg
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220kg
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140kg
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150kg
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220kg
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