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半導體測量探針臺高低溫真空磁場環(huán)境測試芯片/晶圓片/封裝器件 相關信息由 北京錦正茂科技有限公司提供。如需了解更詳細的 半導體測量探針臺高低溫真空磁場環(huán)境測試芯片/晶圓片/封裝器件 的信息，請點擊 http://www.nciecn.com/b2b/bjjzm2016.html 查看 北京錦正茂科技有限公司 的詳細聯(lián)系方式。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺是具備提供高低溫、真空以及磁場環(huán)境的高精度實驗臺，它的諸多設計都是專用的。因此，高低溫磁場探針臺的配置主要是根據(jù)用戶的需求進行選配及設計。例如，要求的磁場值，均勻區(qū)大小、均勻度大小、樣品臺的尺寸等，均于磁力線在一定區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生的磁通密度相關聯(lián)；位移臺還可與磁流體密封搭配，實現(xiàn)水平方向二維移動和樣品臺360度轉動；除此之外，該探針臺和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用戶，可以磁場的高穩(wěn)定性。因此，該類型的探針臺主要依據(jù)客戶的使用情況進行設計優(yōu)化。
錦正茂高低溫真空磁場探針臺探針臺配備4個（可選6個或8個）擁有高精度位移的探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應用于半導體工業(yè)、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫(yī)學等領域。
磁特性測試、微波特性測試、直流、RF特性測試，微電子機械系統(tǒng)，超導電性測試，納米電路的光電屬性，量子點和線，高低溫真空環(huán)境下的芯片測試，材料測試，霍爾測試，電磁輸運特性等。
可選附件：
t 各類DC探針、高頻探針、主動式探針、電纜線
t CCD或C-MOS視頻成像裝置
t Chuck運動裝置
t 電磁鐵系統(tǒng)/超導磁鐵系統(tǒng)
t 1Mpa正壓系統(tǒng)升級
t 超高溫升級選件
t 超高真空升級選件
t 各類探針夾具
t 屏蔽箱
t 防振桌
t 轉接頭
t 靜音真空泵
技術指標：
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高低溫真空磁場探針臺 |
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型號 |
T8-EM4 |
T8-EM5 |
T8-EM7 |
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真空度 |
高達10-8Pa |
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腔體材質(zhì) |
無磁不銹鋼或者鋁合金 |
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磁場范圍 |
2000Gs @50mm |
5000Gs@50mm |
1T@50mm |
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磁場方向 |
水平（可按用戶要求設計成豎直方向的） |
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配套電源 |
雙極性電源±50A |
雙極性電源±70A |
雙極性電源±90A |
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電源穩(wěn)定性 |
50ppm（可選10ppm） |
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制冷方式 |
液氦/液氮制冷/閉循環(huán)制冷機 |
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溫度范圍 |
5K-325K可選500K |
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控溫分辨率 |
0.001K控溫儀相關 |
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溫度穩(wěn)定性 |
優(yōu)于0.1K依賴于控溫儀 |
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溫度傳感器 |
硅二極管/PT100/CernoxTM |
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傳感器數(shù)量 |
樣品臺、防輻射屏、探針臂各一個 |
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樣品臺尺寸（max） |
Φ50mm，平整度≤7μm |
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樣品臺固定方式 |
真空硅脂/彈簧壓片 |
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樣品臺材質(zhì) |
鍍金無氧銅 |
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顯微鏡行程 |
X、Y平面2*2inch，精度1μm，Z軸行程≥50.8mm |
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放大倍數(shù) |
16~100X/20~4000X |
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真空腔觀察窗尺寸 |
1inch |
1.5inch |
2inch |
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窗口材料 |
熔融石英（可選K9、氟化鈣等） |
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探針臂數(shù)量 |
2、4、6、8可選 |
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探針臂行程 |
(X-Y-Z)25mm-25mm-12mm可更換 |
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位移精度 |
10μm /2μm/1μm/0.7μm可選 |
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接口形式 |
普通真空接頭/三同軸接頭/BNC/SMA等 |
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探針直徑 |
0.51mm |
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針尖直徑 |
10μm/5μm/1μm可選 |
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探針材料 |
鎢/GGB |
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供電電壓 |
AC220V 50Hz/60Hz |
AC380V 50Hz/60Hz |
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