今天為大家介紹一下研磨http://.的分類
研磨http://.的分類:
研磨液按其作用機理分:機械作用研磨液,化學(xué)機械作用研磨液。
機械作用的研磨液:以金剛石、B4C等為磨料,通過添加分散劑等方式分散到液體介質(zhì)中,從而形成具有磨削作用的液體,稱為金剛石研磨液、碳化硼研磨液等。磨料在分散液中游離分布,利用磨料硬度比待磨工件硬度大的原理,實現(xiàn)工件的研磨、減薄。根據(jù)磨料的表面、顆粒大小及研磨液配置、研磨設(shè)備穩(wěn)定性等情況,研磨完成后,工件表面容易留下或大或小的劃痕。所以,機械作用的研磨液一般用于粗磨,后續(xù)還需要精密研磨拋光。
化學(xué)機械作用研磨液:化學(xué)機械作用研磨液利用了磨損中的“軟磨硬”原理,即用較軟的材料來進行拋光以實現(xiàn)高質(zhì)量的拋光表面,是機械削磨和化學(xué)腐蝕的組合技術(shù),它借助超微粒子的研磨作用和化學(xué)腐蝕作用在被研磨的介質(zhì)表面形成光潔平坦表面。所以化學(xué)機械作用研磨液又稱為化學(xué)機械拋光液(Chemical Mechanical Polishing,簡稱CMP)。在一定壓力及拋光漿料存在下,被拋光工件相對于拋光墊作相對運動,借助于納米粒子的研磨作用與氧化劑的腐蝕作用之間的有機結(jié)合,在被研磨的工件表面形成光潔表面。
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