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{gx}無(wú)隔板過(guò)濾器:
n 材質(zhì)說(shuō)明:
2 過(guò)濾濾料:H13-H14玻纖濾紙;
2 過(guò)濾效率:H13-H14,H13:99.97-99.99%@0.3μm、H14:99.995-99.999%@0.3μm(MPPS);
2 框 材:鋁型材框、鋁板折框、鍍鋅框、不銹鋼框;
2 護(hù)網(wǎng)材質(zhì):噴塑菱形網(wǎng);
2 密封膠條:氯丁橡膠;
2 過(guò)濾尺寸:依據(jù)客戶實(shí)際要求制定,鋁型材參考厚度:46mm、50mm、69mm、80mm、90mm、96mm;
n 適用場(chǎng)合:
適用于超LSI制造工廠、半導(dǎo)體制造工廠、原子力研究中心、無(wú)塵室、層流設(shè)備、工作臺(tái)等其他要求超高潔凈度的場(chǎng)合。
型號(hào)
箱體外形尺寸
(W×H×D)
(mm)
額定風(fēng)量
(m3/h)
過(guò)濾面積(m2)
容塵量
(g)
初阻力
(Pa)
終阻力
(Pa)
過(guò)濾效率0.3μm
KYAIR-MHF-001
484×484×50
350
4.28
250
≤150
400
≥99.97%
H13-H14
KYAIR-MHF-002
610×610×50
600
6.84
410
KYAIR-MHF-003
915×610×50
900
10.29
KYAIR-MHF-004
1220×610×50
1200
13.74
800
KYAIR-MHF-005
484×484×69
6.58
KYAIR-MHF-006
610×610×69
1000
10.48
KYAIR-MHF-007
915×610×69
1400
15.78
950
KYAIR-MHF-008
1220×610×69
1800
21.08
1250
KYAIR-MHF-009
610×610×96
1600
17.88
1050
KYAIR-MHF-010
915×610×96
2400
26.99
KYAIR-MHF-011
1220×610×96
3200
36.12
2100