短弧汞氙燈,又名平行光曝光燈.功率主要有5000W,3000W,8000W等,用途最廣泛的是5000W平行曝光燈.球形高壓短弧汞氙燈
英文名稱是Mercury Xenon Short Arc Lamps
該燈光譜范圍主要在325nm~450nm之間,是在高壓汞蒸氣中產(chǎn)生電弧發(fā)光的短弧燈,此類燈管具有高 輻射 、多線光譜 、在紫外光區(qū)有較高的輻射能量 、壽命長、高光學質(zhì)量等優(yōu)點,適用于全自動曝光系
統(tǒng)和半導體生產(chǎn)光刻。
主要規(guī)格型號:日本USHIO系列型號有:PC-5001CBT,PC-5001CSN,PC-5001CBTL,PC-5001CSNL,PC-5002RC,PC-5002AD,PC- 5001TA;PC-5000MF,PC-5000SG、PC-3500SG;、同時還有點光源平行光曝光燈:型號有:SUV-1003FA;UVL-3500SI;USH-5000MG,UXM-5000TA、USH-3502MA,USH-2004MB、HSA-2002-30341.............
美國ORC型號有:HVF-5001CBT/R,HVF-5001CSN/R,HVF-5000MFN/R,HVF-5002AD/R,