潔凈技術,是適應實驗研究與產(chǎn)品加工的精密化、微型化、高純度、高質量和高可靠性等方面要求而誕生的一門新興技術。 潔凈室(cleanroom)這個名詞和概念源于18世紀六十年代的歐洲醫(yī)學,當時的理解jx于經(jīng)噴灑xd后可以控制創(chuàng)部感染率的處置室、手術室這類mj處理的工作環(huán)境。 現(xiàn)代潔凈室雖然延用了這個名詞,但在定義和內涵上都與原有的概念有根本的不同,現(xiàn)代潔凈室形成一項專門技術,其歷史不過只有半個世紀。
隨著現(xiàn)代技術(航天技術、原子能技術、電子技術等)的迅速發(fā)展,對一些產(chǎn)品部件的精度要求愈來愈高,因此要求建造潔凈廠房,以防止產(chǎn)品在生產(chǎn)過程中受到塵粒污染或xj污染。第二次世界大戰(zhàn)后,美國、歐洲國家和日本都先后建成潔凈廠房。中國在50年代曾建設一些無窗密閉廠房,60年代研制成{gx}過濾器、凈化工作臺和裝配式潔凈室等設備,以后在電子工業(yè)等部門建成一些潔凈廠房,如常州的半導體廠。
總體布置 廠址宜選在空氣自凈條件好,大氣含塵量低的地區(qū),要求遠離鐵路、機場、碼頭和交通要道,避開散發(fā)大量粉塵的工廠、堆場等污染源??傮w布置應按不同的凈化要求分區(qū)。潔凈區(qū)應處于一般生產(chǎn)區(qū)和污染區(qū)的上風位,并須全面規(guī)劃,布置道路和綠化,以改善小區(qū)環(huán)境,有條件的宜設置水池、噴泉等。有潔凈要求的工廠通常由一般生產(chǎn)用房、潔凈廠房和輔助用房等組成。