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紅外線顯微鏡多少_optotherm熱成像顯微鏡-立特為智能話:15219504346 (溫先)
關(guān)鍵詞: Optotherm IS640 SENTRIS,Thermal Emission Microscope system
1. 它的應(yīng)非常廣泛,去封裝的芯片,未去封裝的芯片,容,F(xiàn)PC,甚小尺寸的路板(PCB、PCBA),這也就讓你可以在樣品的不同階段都可以使thermal術(shù)進(jìn),如下圖示例,樣品路板漏定位到某QFN封裝器件漏,將該器件拆下后現(xiàn)漏善,該器件焊引線來,未封定位為某引腳,封后針再做,進(jìn)一步確認(rèn)為晶圓某引線位置漏導(dǎo)致,如有需要可接著做SEM,FIB等。
未封器件
封器件
2. 它能測(cè)的半導(dǎo)體缺陷也非常廣泛,微安級(jí)漏,低阻抗短路,ES擊傷,閂效應(yīng)點(diǎn),屬層部短路等等,而容的漏和短路點(diǎn)定位,F(xiàn)PC,PCB,PCBA的漏,微短路等也能夠jq定位
lock-in相
封芯片漏
GAN-SIC器件
3,它是無損:為日常的失效,往往樣品量稀少,這就要求失效術(shù){zh0}是無損的,而于某些例如陶瓷容和FPC的缺陷,雖然測(cè)能測(cè)存在缺陷,但是具體缺陷位置,市的無損如XRAY或超聲波,卻很難進(jìn)定位,只能通過樣品進(jìn)破壞性切片,且只能隨機(jī)挑選位置,而通過Thermal 術(shù),你需要的只是給樣品,就可以述兩種缺陷進(jìn)定位
FPC缺陷
容缺陷
4,相熱成像(LOCK IN THERMOGRAPHY):相術(shù),將溫度分辨率高到0.001℃,5um分辨率鏡頭,可以測(cè)uA級(jí)漏流和微短路缺陷,遠(yuǎn)由于傳統(tǒng)熱成像及液晶熱點(diǎn)測(cè)法(0.1℃分辨率,mA級(jí)漏流熱點(diǎn))
5,系統(tǒng)能夠測(cè)量芯片等微觀器件的溫度分布,了一種速測(cè)熱點(diǎn)和熱梯度的有效手段,熱分布不僅能顯示缺陷的位置,在半導(dǎo)體領(lǐng)域
在集成路操期間,內(nèi)部結(jié)加熱導(dǎo)致接處的熱量集中。器件中的峰值溫度處于接處本身,并且熱從接部向外傳導(dǎo)到封裝中。因此,器件操期間的jq結(jié)溫測(cè)量是熱表征的組成部分。
芯片附著缺陷可能是由于諸如不充分或污染的芯片附著材料,分層或空隙等原因引起的。Sentris熱工具(如 圖像序列)可于評(píng)估樣品由內(nèi)到外的熱量傳遞過程,以便確定管芯接的完整性。
OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)為一臺(tái)專為缺陷定位的系統(tǒng),專為子產(chǎn)品FA設(shè)計(jì),通過特別的LOCK-IN術(shù),使LWIR鏡頭,仍能將將溫度分辨率升到0.001℃(1mK),同時(shí)光學(xué)分辨率{zg}達(dá)到5um,尤其其系統(tǒng)經(jīng)過多年的優(yōu)化,具有非常易和實(shí),以下是OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)過程的說明視頻
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紅外熱成像儀的構(gòu)成
紅外熱像儀的構(gòu)成5大部分:
1、紅外鏡頭: 接收和匯聚被測(cè)物體射的紅外輻射;
2、紅外測(cè)器組件: 將熱輻射型號(hào)變成號(hào);
3、子組件: 號(hào)進(jìn)處理;
4、顯示組件: 將號(hào)轉(zhuǎn)變成可見光圖像;
5、: 處理采集到的溫度數(shù)據(jù),轉(zhuǎn)換成溫度讀數(shù)和圖像。
紅外熱成像儀的分類
紅外熱像儀照工溫度分為冷型和非冷性
冷式熱成像儀:其測(cè)器中集成了一個(gè)低溫冷器,這種裝置可以給測(cè)器降溫度,這樣是為了使熱噪聲的號(hào)低于成像號(hào),成像質(zhì)量更好。
非冷式熱成像儀:其測(cè)器不需要低溫冷,采的測(cè)器通常是以微測(cè)輻射熱計(jì)為礎(chǔ),主要有多晶硅和氧化釩兩種測(cè)器。
紅外熱像儀照功能分為測(cè)溫型和非測(cè)溫型
測(cè)溫型紅外熱像儀:測(cè)溫型紅外熱像儀,可以直接從熱圖像讀物體表面任意點(diǎn)的溫度數(shù)值,這種系統(tǒng)可以為無損檢測(cè)儀器,但是有效距離比較短。
非測(cè)溫型紅外熱像儀:非測(cè)溫型紅外熱像儀只能觀察到物體表面熱輻射的差異,這種系統(tǒng)可以為觀測(cè)工具,有效距離比較長(zhǎng)。
紅外熱成像儀的特點(diǎn)
與一般檢測(cè)設(shè)備相比,紅外熱成像儀具有以下鮮明特點(diǎn):
1、熱成像儀可以運(yùn)動(dòng)物體進(jìn)測(cè)溫,而普通測(cè)溫儀表很難做到這一點(diǎn);
2、可以借助顯微鏡頭幾微甚更小的目標(biāo)進(jìn)測(cè)溫;
3、可以速地設(shè)備進(jìn)熱斷;
4、不測(cè)量的溫度產(chǎn)干擾;
5、測(cè)溫范圍大,根據(jù)型號(hào)的不同,一般可測(cè)量0℃—2000℃的范圍;
6、靈敏度高,根據(jù)型號(hào)不同,可分辨0.1℃甚更小的溫差;
7、使安全,由于測(cè)量的非接觸性,使得熱成像儀使起來非常安全。
紅外熱成像儀的展歷程
1800年,英國(guó)天文學(xué)F.W.赫歇耳現(xiàn)了紅外線。
世紀(jì)70年,熱成像系統(tǒng)和荷耦器件被成功應(yīng)。
世紀(jì)末,以焦平面陣列(FPA)為表的紅外器件被成功應(yīng)。
紅外術(shù)的核心是紅外測(cè)器,紅外測(cè)器其特點(diǎn)可分為四:
{dy}(1970s-80s):主要是以元、多元器件進(jìn)光機(jī)串/并掃描成像;
第二(1990s-2000s