生產(chǎn)多晶硅片的工藝流程
多晶硅料產(chǎn)品：棒狀、塊狀、粒狀
多晶硅硅錠
多晶硅硅片
單晶硅硅棒
單晶硅硅片
目前晶體硅太陽電池硅片分為單晶硅硅片和多晶硅硅片。
單晶硅片主要是125mm×125mm;
多晶硅片主要是125mm×125mm和156mm×156mm兩種規(guī)格。
外觀區(qū)別
多晶硅硅片相對于單晶硅硅片，有明顯的多晶特性，表面有一個(gè)個(gè)晶粒形狀，而單晶硅硅片表面顏色均勻一致。
單晶硅硅片因?yàn)槭褂霉璋粼?，四角有圓形大倒角，而多晶硅硅片一般采用小倒角。
生產(chǎn)方法
工藝—清洗硅料
除去硅料表面的石英、金屬離子等，先使用堿液去除石英等，再使用酸混合液酸洗，在用去離子水沖洗液浸泡至中性，最后烘干分類存放。
設(shè)備、工模具：硅料清洗機(jī)、裝硅料的花籃、溫度計(jì)、PH測量計(jì)、電阻率測量儀、量杯、電子秤、防護(hù)服等。
材料：硅料、NaOH、HF、HCL、去離子水。
工藝—裝料
裝料前需對坩堝進(jìn)行坩堝噴涂、坩堝燒結(jié)處理，在坩堝內(nèi)表面形成均勻厚度的氮化硅。為避免硅料與坩堝接觸污染硅錠。
裝料時(shí)按照坩堝底大塊硅料、上面細(xì)硅料的原則，硅料縫隙間用細(xì)小硅料填充。
坩堝噴涂燒結(jié)設(shè)備、工模具、材料：坩堝噴涂站、坩堝燒結(jié)爐、恒溫箱、紅外測溫槍、防護(hù)服、電動吸等；石英坩堝、氮化硅粉、純水、壓縮空氣
裝料設(shè)備、工模具、材料：硅錠運(yùn)轉(zhuǎn)車、石墨護(hù)板、防護(hù)服、電子秤、工業(yè)吸塵器；石英坩堝、硅料、硼母合金。
工藝—鑄錠
在上面工藝流程中的熔化、定向生長、冷卻凝固、硅錠出爐都是在鑄錠爐內(nèi)完成。生成完整的多晶硅錠。我公司使用的鑄錠爐原理方法是上面介紹的“熱交換法及布里曼法”。
設(shè)備、工模具：定向凝固爐（DSS）、裝卸料電瓶車、工業(yè)吸塵器、耐高溫手套、硅錠轉(zhuǎn)運(yùn)車等。
材料：真空油脂、氬氣、壓縮空氣
鑄錠爐
工藝—破錠
將硅錠切割成一定尺寸的硅塊，去除硅錠四周邊皮料，再對硅塊四角輪流進(jìn)行倒角，最后去頭尾。邊皮料、頭尾料中含有較高的碳、氧、金屬雜質(zhì)等，嚴(yán)重影響硅片性能。
設(shè)備、工模具：多線切割剖錠機(jī)、倒角機(jī)、數(shù)控金剛石帶鋸床、防護(hù)服、吊車
材料：粘接劑、鋼線、砂漿、金剛石帶鋸
工藝—多線切割
將處理好的硅塊進(jìn)行粘接、切割，切割成設(shè)定厚度的硅片。目前硅片厚度一般為180um和200um。粘接時(shí)，對硅塊粘接面、金屬模板、玻璃進(jìn)行清洗，使用粘接劑粘接在一起。
設(shè)備、工模具：超聲波清洗機(jī)、多線切割機(jī)、電瓶堆垛車、吹風(fēng)機(jī)、鏟刀、電子秤等
材料：硅塊、粘接劑、卷紙、酒精、鋼線、砂漿等
工藝—硅片清洗
在硅片清洗前，對切割后的硅片進(jìn)行預(yù)清洗，將硅片從模板上清洗下來。硅片清洗使用清洗劑、醋酸、純水清洗，去除粘接劑和各種表面雜質(zhì)，得到清潔的硅片。
設(shè)備、工模具、材料：硅片預(yù)清洗設(shè)備、硅片清洗機(jī)、清洗劑、醋酸、純水多晶硅片、硅片盒等。
工藝—包裝
使用Manz硅片檢測設(shè)備對硅片進(jìn)行測試、分選，測試出每片硅片的性能參數(shù)，根據(jù)性能分類。測試數(shù)據(jù)包括厚度、電阻率、少子壽命等。相同分類的硅片包裝在一起。
硅片性能參數(shù)
1、型號（P型和N型，P型多晶硅是摻B，N型多晶硅是摻P）
2、電阻率
3、少數(shù)載流子壽命
4、硅片邊長
5、對角線長度
6、倒角
7、厚度
8、總厚度變化
