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等離子刻蝕機:
*對金屬、玻璃、硅片、陶瓷、塑料、聚合物表面的有機污染物 (如石蠟、油污、脫膜劑、蛋白等)進行超AA清洗。
*改變某些材料表面的性能。
*使玻璃、塑料、陶瓷等材料表面活化,加強這些材料的粘附性、相容性和浸潤性。
*金屬材料表面的氧化層。
優(yōu)點:
具有性能穩(wěn)定,操作簡便,使用成本低,易于維護的特點。對各種幾何形狀,表面粗糙程度各異的金屬,陶瓷,玻璃,硅片,塑料等物件表面進行超清洗和改性,徹底地清洗樣品表面的有機染物。
等離子刻蝕機 技術(shù)參數(shù):
供電電源 |
AC220V(AC110V可選) |
工作電流 |
整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵) |
射頻電源功率 |
150W |
射頻頻率 |
13.56MHz |
頻率偏移量 |
<0.2MHz |
特性阻抗 |
50歐姆,手動匹配 |
耦合方式 |
電容耦合 |
真空度 |
≤50Pa |
腔體材質(zhì) |
高純石英 |
腔體容積 |
Φ100mmX200mm |
旋轉(zhuǎn)速度 |
20轉(zhuǎn)/分鐘 |
氣體流量 |
0—300ml/min |
過程控制 |
手動控制 |
清洗時間 |
手0-999秒 |
外形尺寸 |
615X390X560mm |
重量 |
56Kg |
真空室溫度 |
小于65°C |
冷卻方式 |
強制風(fēng)冷 |
標(biāo)配 |
KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。
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