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1. 它的應(yīng)非常廣泛,去封裝的芯片,未去封裝的芯片,容,F(xiàn)PC,甚小尺寸的路板(PCB、PCBA),這也就讓你可以在樣品的不同階段都可以使thermal術(shù)進(jìn),如下圖示例,樣品路板漏定位到某QFN封裝器件漏,將該器件拆下后現(xiàn)漏善,該器件焊引線來,未封定位為某引腳,封后針再做,進(jìn)一步確認(rèn)為晶圓某引線位置漏導(dǎo)致,如有需要可接著做SEM,FIB等。
未封器件
封器件
2. 它能測(cè)的半導(dǎo)體缺陷也非常廣泛,微安級(jí)漏,低阻抗短路,ES擊傷,閂效應(yīng)點(diǎn),屬層部短路等等,而容的漏和短路點(diǎn)定位,F(xiàn)PC,PCB,PCBA的漏,微短路等也能夠jq定位
lock-in相
封芯片漏
GAN-SIC器件
3,它是無損:為日常的失效,往往樣品量稀少,這就要求失效術(shù){zh0}是無損的,而于某些例如陶瓷容和FPC的缺陷,雖然測(cè)能測(cè)存在缺陷,但是具體缺陷位置,市的無損如XRAY或超聲波,卻很難進(jìn)定位,只能通過樣品進(jìn)破壞性切片,且只能隨機(jī)挑選位置,而通過Thermal 術(shù),你需要的只是給樣品,就可以述兩種缺陷進(jìn)定位
FPC缺陷
容缺陷
4,相熱成像(LOCK IN THERMOGRAPHY):相術(shù),將溫度分辨率高到0.001℃,5um分辨率鏡頭,可以測(cè)uA級(jí)漏流和微短路缺陷,遠(yuǎn)由于傳統(tǒng)熱成像及液晶熱點(diǎn)測(cè)法(0.1℃分辨率,mA級(jí)漏流熱點(diǎn))
5,系統(tǒng)能夠測(cè)量芯片等微觀器件的溫度分布,了一種速測(cè)熱點(diǎn)和熱梯度的有效手段,熱分布不僅能顯示缺陷的位置,在半導(dǎo)體領(lǐng)域
在集成路操期間,內(nèi)部結(jié)加熱導(dǎo)致接處的熱量集中。器件中的峰值溫度處于接處本身,并且熱從接部向外傳導(dǎo)到封裝中。因此,器件操期間的jq結(jié)溫測(cè)量是熱表征的組成部分。
芯片附著缺陷可能是由于諸如不充分或污染的芯片附著材料,分層或空隙等原因引起的。Sentris熱工具(如 圖像序列)可于評(píng)估樣品由內(nèi)到外的熱量傳遞過程,以便確定管芯接的完整性。
OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)為一臺(tái)專為缺陷定位的系統(tǒng),專為子產(chǎn)品FA設(shè)計(jì),通過特別的LOCK-IN術(shù),使LWIR鏡頭,仍能將將溫度分辨率升到0.001℃(1mK),同時(shí)光學(xué)分辨率{zg}達(dá)到5um,尤其其系統(tǒng)經(jīng)過多年的優(yōu)化,具有非常易和實(shí),以下是OPTOTHERM Sentris 熱射顯微鏡系統(tǒng)過程的說明視頻
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紅外熱成像儀(熱成像儀或紅外熱成像儀)是通過非接觸測(cè)紅外能量(熱量),并將其轉(zhuǎn)換為號(hào),進(jìn)而在顯示器成熱圖像和溫度值,并可以溫度值進(jìn)計(jì)算的一種檢測(cè)設(shè)備。
1.根據(jù)熱像儀分測(cè)原理可以分為光子測(cè)和熱測(cè)兩種
熱成像儀有光子測(cè)和熱測(cè)兩種不同的原理。前者主要是光子在半導(dǎo)體材料產(chǎn)的效應(yīng)進(jìn)成像,敏感度高,但測(cè)器本身的溫度會(huì)其產(chǎn)影響,因而需要降溫。熱測(cè)器是指測(cè)元件吸收入射的紅外輻射能量而引起溫升,在此礎(chǔ)借助各種物理效應(yīng)把溫升轉(zhuǎn)變成量的一種測(cè)器。敏感度不如前者但是無需冷。
由于熱測(cè)器是輻射引起物體的溫升效應(yīng),因此,它任何波長(zhǎng)的輻射都有響應(yīng),所以稱熱測(cè)器為無選擇性測(cè)器,這是它同光子測(cè)器的一大差別。熱測(cè)器的展比光子測(cè)器早,但如今一些光子測(cè)器的測(cè)率已接近背景限,而熱測(cè)器的測(cè)率離背景噪聲限還有很大差距。
2.根據(jù)熱像儀工的波段可以分為長(zhǎng)波、短波、中波紅外熱像儀
還根據(jù)熱成像儀的工波段、所使的感光材料進(jìn)分類。常見熱成像儀工在3到5微或8到12微,一般把8-12微稱為長(zhǎng)波段紅外熱像儀,3-5微稱為短波紅外熱像儀,5-8微是中波紅外熱像儀,這些都各有各的優(yōu)缺點(diǎn),常感光材料則有硫化鉛、硒化鉛、硫化錮、硫錫鉛、硫鎘、摻雜儲(chǔ)和摻雜硅等。一般來說冷型的紅外熱像儀采的硫錫鉛、硫鎘等,非冷的紅外熱像儀采的是多晶硅,氧化釩等。
3.根據(jù)感光元件數(shù)量和運(yùn)動(dòng)方式,則有機(jī)械掃描、凝視成像型等。
4.根據(jù)是否測(cè)溫紅外熱像儀又分為成像型和測(cè)溫型,一般來說現(xiàn)在市面測(cè)溫型的紅外熱像儀價(jià)格比成像型的價(jià)格高一些。成像型的紅外熱像儀畫面表現(xiàn)為溫度分布,但是并不具備測(cè)溫的功能。
熱射顯微鏡系統(tǒng)參數(shù)_Optotherm IS640熱成像顯微鏡-立特為智能是否會(huì)影響準(zhǔn)確測(cè)量?下雨本身測(cè)量精度影響不大,但被測(cè)物體表面附著的滴可能造成熱量的異常流失,使測(cè)量溫度不能準(zhǔn)確映物體的正常表面溫度。同時(shí),下雨環(huán)境儀器本,熱射顯微鏡系統(tǒng)參數(shù)_Optotherm IS640熱成像顯微鏡-立特為智能?,F(xiàn)在,假設(shè)整個(gè)躍階的溫度讀數(shù)介于8-12ms。從圖表中可以看,紅外熱像儀讀取的沸溫度在60c附近,存在40c的誤差。熱像儀仍會(huì)jq報(bào)告像素點(diǎn)的溫度。問題是,熱射顯微鏡系統(tǒng)參