影響因素編輯影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點，亦應列入慮因素。一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū)，而將微塵帶走；若分流點配置在制程區(qū)前方，將成為不當?shù)臍饬鞣至鳎藭r大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會較差，在工作桌面鉆上回風孔，將使渦流現(xiàn)象減少{zd1}；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。潔凈室的構成是由下列各項系統(tǒng)所組成（在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的），否則將無法構成一完整且品質良好的潔凈室：⑴天花板系統(tǒng)：bao括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。⑵空調系統(tǒng)：bao括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。⑶隔墻板（Partitional wall）：bao括窗戶、門。⑷地板：bao括高架地板或防靜電舒美地板。⑸照明器具：bao括日光燈、黃色燈管等。潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無論是何種構造，必須滿足如下之條件：●不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕；●不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；●吸濕性??；●為了維持室內(nèi)之濕度條件，熱絕緣性要高。

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潔凈室的監(jiān)測潔凈室需要控管的項目bao括溫度、濕度、靜壓差、風速、微粒、浮游菌、沉降菌，當然在設計之初還有噪音、光照度、安全、節(jié)能等方面的慮。對于使用者來說使用過程中學會日常監(jiān)測非常重要，這是保證教學科研工作的前提之一，也有利于在出現(xiàn)異常數(shù)據(jù)時排查原因。 溫度、濕度、靜壓差、風速是預測試指標，只有這些指標都在規(guī)定范圍內(nèi)，后續(xù)3個主測試指標的監(jiān)測才有意義。溫濕度要求使用者可以自己把握，如無特殊要求時，溫度在18～26℃，相對濕度在45%～65%為宜。潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應>10 Pa；相鄰不同潔凈級別的潔凈室之間的壓差應>0.5 Pa；潔凈區(qū)與室外壓差應>12 Pa。單向流凈室實測室內(nèi)平均風速應大于設計風速，但不應超過15%。以上測試可以通過溫濕度儀、微壓計、風速儀來完成。

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減少潔凈空間體積的實用技術之一是建立潔凈隧道或隧道式潔凈室，其可以滿足生產(chǎn)對高潔凈度環(huán)境和節(jié)能的雙重要求，使?jié)崈艄に噮^(qū)空間縮小到{zd1}限度，風量大大減少。另外，還可采用潔凈隧道層流罩裝置，以抵抗?jié)崈舳鹊偷牟僮鲄^(qū)對潔凈度高的工藝區(qū)可能存在的干擾與污染。在同樣的總風量下，可以擴大罩前潔凈截面積5~6倍。同時，還可通過潔凈小室、潔凈工作臺、自凈器、微環(huán)境等形式，如帶層流裝置的稱量工作臺以及帶層流裝置的灌封機等，實行局部氣流保護，以維持該區(qū)域的高潔凈級別要求，且減少潔凈空間體積。