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一、行業(yè)水質(zhì)標準:
我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業(yè)部水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準。
二、行業(yè)對水質(zhì)的要求:
光電材料生產(chǎn)、加工、清洗;LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質(zhì)燈管顯像管、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高,這也對工藝及產(chǎn)品的簡易性、自動化程度、生產(chǎn)的連續(xù)性、可持續(xù)性等提出了更加嚴格的要求。
三、反滲透設備工藝流程
原水箱
儲存原水,設高、低水位控制。對系統(tǒng)的給水起調(diào)節(jié)作用,防止自來水給水不足的影響,同時也可對自來水中的雜質(zhì)起一定的沉淀作用。(如水壓過低或過高引起的壓力傳感的反應)。
原水泵
提供預處理系統(tǒng)正常工作的動力源,為保持后序設備的正常運行,增加壓力。泵相應設置高過熱保護器、壓力控制器,出現(xiàn)故障自動報警。
多介質(zhì)過濾器
采用多次過濾層的過濾器,主要目的是去除原水中含有的泥沙、鐵銹、膠體物質(zhì)、懸浮物等顆粒在20um以上的物質(zhì)。而且還可以使水中的有機物質(zhì)、xj、病毒等隨著濁度的降低而被大量去除,并為濾后xd創(chuàng)造了良好條件。經(jīng)過砂濾器原水濁度可降低至5mg/L以下。保證設備的產(chǎn)水質(zhì)量,延長設備的使用壽命。
活性炭過濾器