剖析http://.FFU各個(gè)部件的作用分別是什么
FFU(Fan Filter Unit),是一個(gè)自帶送風(fēng)機(jī)(無殼風(fēng)機(jī))的{gx}過濾器送風(fēng)口,它與其專用龍骨系統(tǒng)(Ceiling Grid)、冷卻盤管(一般為干盤管)、加壓風(fēng)機(jī)、新風(fēng)系統(tǒng)以及專用燈具共同組成了FFU系統(tǒng)。FFU的使用方式是,新風(fēng)有新風(fēng)空調(diào)機(jī)處理至所需狀態(tài)點(diǎn)后送入,在靜壓箱內(nèi)與回風(fēng)混合后經(jīng)FFU的風(fēng)機(jī)加壓后經(jīng)HEPA或ULPA送入室內(nèi),再經(jīng)架空地板或側(cè)墻回至干盤管,在此經(jīng)冷(熱)處理后經(jīng)由回壓機(jī)送回至靜壓箱完成循環(huán)。這樣的系統(tǒng)最為常用于有超靜要求的潔凈室,如大型集成電路晶圓的制造、{jd0}顯示器如TFT、PDP等的制造、硬盤的制造等。
http://.FFU各個(gè)部件的作用:
1、電機(jī)
現(xiàn)在FU中使用的電機(jī)有直流電機(jī)和交流電機(jī),他們有各自的長處。直流電機(jī)的體積大,投資高,控制容易實(shí)現(xiàn),能耗較高。交流電機(jī)的體積小,投資低,控制需要相應(yīng)的技術(shù),能耗較低。
2、金屬防護(hù)網(wǎng)
金屬防護(hù)網(wǎng)大多數(shù)都防靜電,主要起到對(duì)維護(hù)人員安全的保護(hù)作用。
3、{gx}無隔板過濾器
{gx}過濾器主要用于捕集0.1-0.5um的顆?;覊m及各種懸浮物。過濾效率99.95%99.995%99.9995%99.99995%99.99999%。主要有有隔板和無隔板之分。
FFU中使用的是{gx}無隔板過濾器。
4、外殼體
外殼體的主要材質(zhì)有冷板烤漆、不銹鋼、覆鋁鋅板等幾種。不同的使用環(huán)境有不同的選擇。它的形狀分兩種,一種上部為坡形,坡形主要起到一種導(dǎo)流的作用,有利于進(jìn)氣氣流的流動(dòng)和均勻分布;一種是長方體,美觀,可以使進(jìn)入殼體內(nèi)空氣已{zd0}空間正壓到過濾器表面。
5、葉輪
葉輪有兩種形式,前傾和后傾,前傾有利于增加氣流組織的矢向流動(dòng),增強(qiáng)去除塵埃的能力。后傾有利于降低能耗,減少噪音。
6、氣流均衡裝置
隨著FFU在各領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用,大多數(shù)廠家選擇裝置氣流均衡裝置,用來調(diào)整ffu的出口氣流,并改善潔凈區(qū)域內(nèi)的氣流分布。目前,它分為三種:一種是孔板,主要通過板上的孔的疏密分布來調(diào)節(jié)出FFU口氣流。一種是柵格,主要通過柵格的疏密來調(diào)節(jié)FFU的出氣流。另外一種為動(dòng)力曲線,主要通過曲線的形狀來誘導(dǎo)氣流的流動(dòng),同時(shí)也通過曲線上孔的疏密分布來調(diào)節(jié)氣流。
7、風(fēng)管連接部件
在潔凈級(jí)別較低(≤1000級(jí)lb標(biāo)準(zhǔn)209E)的場合,此時(shí)吊頂上部沒有靜壓箱,帶有風(fēng)管鏈接部件的FFU使得風(fēng)管和FFU的鏈接十分方便。
8、預(yù)過濾器
預(yù)過濾器主要是為了防止因施工、檢修或其它以外情況產(chǎn)生的雜物可能對(duì){gx}過濾器造成的傷害。它的材質(zhì)一般是可清洗的聚氨酯纖維。
9、控制單元
FFU的控制大致可分多檔控制、無極控制、連續(xù)調(diào)節(jié)、計(jì)算及控制等。同時(shí)實(shí)現(xiàn)單臺(tái)控制、多臺(tái)控制、分區(qū)控制、故障報(bào)警、歷史記錄等功能。
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