典型工藝流程
(水質(zhì)符合美國ASTM標(biāo)準(zhǔn),電子部超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)(18MΩ*cm,15MΩ*cm,2MΩ*cm和0.5MΩ*cm四級)
· 預(yù)處理-反滲透- 水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線sj器-精制混床-精密過濾器-用水對象
· 預(yù)處理-一級反滲透-加藥機(PH調(diào)節(jié))-中間水箱-第二級反滲透(正電荷反滲膜)-純化水箱-純水泵-紫外線sj器-0.2或0.5µm精密過濾器-用水對象
· 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線sj器-0.2或0.5µm精密過濾器-用水對象
· 預(yù)處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線sj器-精制混床-0.2或0.5µm精密過濾器-用水對象
應(yīng)用場合
· 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
· 超純材料和超純化學(xué)試劑;
· 實驗室和中試車間
· 汽車、家電表面拋光處理;
· 其他高科技精微產(chǎn)品.
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